Tantalo karbidu (TaC) padengtas akytas grafitas SiC kristalų auginimui

„VeTek“ puslaidininkiniu tantalo karbidu dengtas akytasis grafitas sukurtas taip, kad optimizuotų SiC kristalų augimo aplinką per keturias pagrindines technines funkcijas:

● Garų komponentų filtravimas: Tiksli porėta struktūra veikia kaip didelio grynumo filtras, užtikrinantis, kad tik norimos garų fazės prisideda prie kristalų susidarymo ir taip pagerina bendrą grynumą.

● Tikslus temperatūros valdymas: TaC danga padidina šiluminį stabilumą ir laidumą, todėl galima tiksliau reguliuoti vietinius temperatūros gradientus ir geriau kontroliuoti augimo greitį.

● Nurodyta srauto kryptis: Struktūrinis dizainas palengvina vadovaujamą medžiagų srautą, užtikrinant, kad medžiagos būtų tiekiamos tiksliai ten, kur reikia, kad būtų skatinamas vienodas augimas.

● Efektyvi nuotėkio kontrolė: Mūsų gaminys pasižymi puikiomis sandarinimo savybėmis, kad išlaikytų augimo atmosferos vientisumą ir stabilumą.

TaC dangos fizinės savybės

Palyginimas su tradiciniu grafitu

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio

Taikymo poveikis: defektų sumažinimas PVT procese

PVT (fizinio garų transportavimo) procese pakeitus įprastą grafitą VeTek TaC padengtu porėtu grafitu, tiesiogiai pašalinami bendri diagramoje pavaizduoti defektai:

● Eribojantys anglies intarpus: Veikdamas kaip kliūtis kietosioms dalelėms, jis veiksmingai pašalina anglies intarpus ir sumažina mikrovamzdžius, įprastus tradiciniuose tigliuose.

● Struktūrinio vientisumo išsaugojimas: apsaugo nuo ėsdinimo duobių ir mikrovamzdelių susidarymo ilgo ciklo SiC monokristalų augimo metu.

● Didesnis derlingumas ir kokybė: Palyginti su tradicinėmis medžiagomis, TaC dengti komponentai užtikrina švaresnę augimo aplinką, todėl kristalų kokybė ir produkcijos išeiga žymiai aukštesnė.