Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas
TaC padengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC dangos danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

Tantalo karbidas padengtas žiedas

Kaip profesionalus novatorius ir „Tantalum“ karbido dengtų žiedinių produktų lyderis Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių tantalum karbido dengtas žiedas vaidina nepakeičiamą vaidmenį SiC kristalų augime, pasižyminčiame puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumui dėvėjimams ir puikiu šilumos laidumu. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Porėtas tantalo karbidas

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir porėto „Tantalum“ karbido gaminių gamintojas Kinijoje. Poruotas tantalo karbidas paprastai gaminamas cheminio garų nusėdimo (CVD) metodu, užtikrinant tikslią jo porų dydžio ir pasiskirstymo valdymą, ir tai yra medžiagos įrankis, skirtas aukštos temperatūros ekstremalioms aplinkoms. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos kreipiamojo žiedas

VeTek Semiconductor's TaC Coating Guide Ring yra sukurtas dengiant tantalo karbido dangą ant grafito dalių, naudojant labai pažangią techniką, vadinamą cheminiu garų nusodinimu (CVD). Šis metodas yra nusistovėjęs ir pasižymi išskirtinėmis dangos savybėmis. Naudojant TaC dangos kreipiamąjį žiedą, grafito komponentų tarnavimo laikas gali būti žymiai pailgintas, grafito priemaišų judėjimas gali būti slopinamas, o SiC ir AIN monokristalų kokybė gali būti patikimai palaikoma. Sveiki atvykę į mūsų paklausimą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Tantalo karbido žiedas

Kaip pažengęs „Tantalum Carbide Ring“ produktų gamintojas ir gamintojas Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių tantalo karbido žiedas turi ypač didelį kietumą, atsparumą dilimui, atsparumui aukštai temperatūrai ir cheminį stabilumą ir yra plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos lauke. Ypač CVD, PVD, jonų implantacijos procese, ėsdinimo procese ir vaflių apdorojant ir transportavimu, tai yra nepakeičiamas produktas, skirtas puslaidininkių apdorojimui ir gamybai. Laukiu tolesnių konsultacijų.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Tantalo karbido dangos atrama

Kaip profesionalus tantalo karbido dangos palaikymo gaminių gamintojas ir gamykla Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ tantalo karbido dangos atrama paprastai naudojama puslaidininkinės įrangos konstrukcinių komponentų arba atraminių komponentų paviršiui padengti, ypač pagrindinių įrangos komponentų paviršiaus apsaugai puslaidininkių gamybos procesuose, pvz. CVD ir PVD. Sveikiname jūsų tolesnę konsultaciją.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Tantalo karbido kreipiamojo žiedas

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir „Tantalum Carbide Guide Guide“ žiedinių produktų gamintojas ir lyderis Kinijoje. Mūsų „Tantalum“ karbido (TAC) kreipiamojo žiedas yra aukšto našumo žiedo komponentas, pagamintas iš tantalo karbido, kuris dažniausiai naudojamas puslaidininkių perdirbimo įrangoje, ypač aukštos temperatūros ir labai korozinėje aplinkoje, tokioje kaip CVD, PVD, ėsdinimas ir difuzija. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojęs pateikti pažangias technologijas ir gaminių sprendimus puslaidininkių pramonei ir palankiai vertina jūsų tolesnius klausimus.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Tantalo karbido danga

Pagrindinės savybės:

Programos:

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos EDX duomenys：

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Tantalo karbidas padengtas žiedas

Porėtas tantalo karbidas

TAC dangos kreipiamojo žiedas

Tantalo karbido žiedas

Tantalo karbido dangos atrama

Tantalo karbido kreipiamojo žiedas

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas