Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas
TaC padengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC dangos danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

TAC padengtas chuck

Esant atsparumui aukštai temperatūrai, cheminiam inertiškumui ir puikiam našumui, „Vetek Semiconductor“ TAC padengti griebtuvai yra skirti puslaidininkių krosnims. Mes tikime, kad mūsų produktai gali suteikti jums pažangių technologijų ir kokybiškų produktų sprendimų.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos vamzdis

VeTek Semiconductor TaC dangos vamzdelis yra pagrindinis komponentas sėkmingam silicio karbido monokristalų augimui. Dėl savo atsparumo aukštai temperatūrai, cheminio inertiškumo ir puikių eksploatacinių savybių, užtikrinančių aukštos kokybės kristalų gamybą ir nuoseklius rezultatus. Pasitikėkite mūsų novatoriškais sprendimais, kad pagerintumėte savo PVT metodu SiC kristalų augimo procesą ir pasieksite puikių rezultatų. Sveiki atvykę į mūsų užklausą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos atsarginė dalis

TAC danga šiuo metu daugiausia naudojama tokiuose procesuose kaip silicio karbido vieno kristalų augimas (PVT metodas), epitaksinis diskas (įskaitant silicio karbido epitaksiją, LED epitaksiją) ir kt., Kartu su gerais ilgalaikiais TAC dengimo plokštelių, Veteksemiko TAC dengimo plokštele stabilumu. Mes tikimės, kad tapsite mūsų ilgalaikiu partneriu.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Gan ant epi imtuvo

„Gan On SIC EPI“ suvokėjas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį apdorojant puslaidininkius per puikų šilumos laidumą, aukštos temperatūros apdorojimo galimybes ir cheminį stabilumą bei užtikrina aukštą GAN epitaksinio augimo proceso efektyvumą ir medžiagų kokybę. „Vetek Semiconductor“ yra Kinijos profesionalus GAN gamintojas „SIC Epi“ jautrui, mes nuoširdžiai tikimės jūsų tolesnių konsultacijų.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

CVD TAC dangos laikiklis

CVD TAC dangos nešiklis daugiausia skirtas epitaksiniam puslaidininkių gamybos procesui. CVD TAC dangos vežėjo ypač aukštas lydymosi taškas, puikus atsparumas korozijai ir išskirtinis šiluminis stabilumas lemia šio produkto nepakeičiamumą puslaidininkiniuriniame epitaksiniame procese. Sveiki atvykę į tolesnį tyrimą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TaC padengtas grafito imtuvas

VeTek Semiconductor's TaC padengtas grafito susceptorius naudoja cheminio nusodinimo garais (CVD) metodą, kad paruoštų tantalo karbido dangą ant grafito dalių paviršiaus. Šis procesas yra pats brandžiausias ir pasižymi geriausiomis dangos savybėmis. TaC Coated Graphite Susceptor gali pailginti grafito komponentų tarnavimo laiką, slopinti grafito priemaišų migraciją ir užtikrinti epitaksijos kokybę. Laukiame jūsų užklausos.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Tantalo karbido danga

Pagrindinės savybės:

Programos:

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos EDX duomenys：

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

TAC padengtas chuck

TAC dangos vamzdis

TAC dangos atsarginė dalis

Gan ant epi imtuvo

CVD TAC dangos laikiklis

TaC padengtas grafito imtuvas

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas