Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas
TaC padengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC dangos danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

TAC dangos pasukimo plokštė

TAC dangos pasukimo plokštė, kurią pagamino „Vetek“ puslaidininkas, gali pasigirti puikia TAC danga, kurioje yra išskirtinė TAC dangos, TAC dangos pasukimo plokštė gali pasigirti puikiu atsparumu aukštai temperatūrai ir cheminiam inertiškumui, kuris išskiria ją iš tradicinių sprendimų. Mes esame įsipareigoję tiekti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir laukti, kad esate jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos plokštė

„Vetek Semiconductor“ TAC dangos plokštė, sukurta tiksliai ir suprojektuota iki tobulumo, yra specialiai pritaikytas įvairioms silicio karbido (SIC) vieno kristalų augimo procesams. TAC dangos plokštės tikslūs matmenys ir tvirta konstrukcija leidžia lengvai integruoti į esamas sistemas, užtikrinant besiūlių suderinamumą ir efektyvų veikimą. Jo patikimas našumas ir aukštos kokybės danga prisideda prie nuoseklių ir vienodų „SiC Crystal“ augimo programų rezultatų. Mes esame įsipareigoję tiekti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės, kad būsime jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

CVD TAC dangos dangtis

„CVD TAC“ dangos dangtelis, kurį pateikė „Vetek“ puslaidininkis, yra labai specializuotas komponentas, skirtas specialiai reikliam pritaikymui. Su patobulintomis savybėmis ir išskirtiniu našumu mūsų „CVD TAC“ dangos dangtis suteikia keletą pagrindinių pranašumų. Mūsų „CVD TAC“ dangos dangtis suteikia būtiną apsaugą ir našumą, reikalingą sėkmei. Mes tikimės ištirti galimą bendradarbiavimą su jumis!

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos planetinis jautrininkas

TAC dangos planetinis jautrininkas yra išskirtinis „Aixtron Epitaxy“ įrangos produktas. „Vetek Semiconductor“ TAC danga suteikia puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą. Šis unikalus derinys užtikrina patikimą našumą ir ilgą tarnavimo laiką, net ir reikalaujančioje aplinkoje. „Vetek“ yra įsipareigojusi tiekti aukštos kokybės produktus ir tarnauti kaip ilgalaikis Kinijos rinkos partneris su konkurencingomis kainomis.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos pjedestalo atraminė plokštė

TAC danga gali atlaikyti aukštą 2200 ℃ aukštą temperatūrą. „Vetek“ puslaidininkis suteikia aukšto grynumo TAC dangą, kurios priemaišos yra mažesnės nei 5ppm Kinijoje. TAC dangos pjedestalo atraminė plokštė gali atlaikyti amoniako vandenilį, argoniną epitaksinės prietaiso reakcijos kameroje. Tai pagerina produkto aptarnavimo tarnavimo laiką. Jūs pateikiate reikalavimus, mes pateikiame pritaikymą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos šmaikštus

„Vetek Semiconductor's TAC“ danga Chuck'as pasižymi aukštos kokybės paviršiumi, žinomu dėl išskirtinio atsparumo aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą, ypač silicio karbido (SIC) epitaksijos (EPI) procesuose. Turėdami išskirtines savybes ir puikų našumą, mūsų „TAC“ danga suteikia keletą pagrindinių pranašumų. Mes esame įsipareigoję tiekti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės, kad būsime jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Tantalo karbido danga

Pagrindinės savybės:

Programos:

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos EDX duomenys：

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

TAC dangos pasukimo plokštė

TAC dangos plokštė

CVD TAC dangos dangtis

TAC dangos planetinis jautrininkas

TAC dangos pjedestalo atraminė plokštė

TAC dangos šmaikštus

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas