Produktai

Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.


Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.


TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.


Pagrindinės savybės:

 ●Temperatūros stabilumas

 ●Itin aukšto grynumo

 ●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

 ●Atsparumas šiluminiam poveikiui

 ●Stiprus sukibimas su grafitu

 ●Konforminės dangos padengimas

 Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)


Programos:

 ●Vaflių laikiklis

 ● Indukcinis šildymo jutiklis

 ● Varžinis kaitinimo elementas

 ●Palydovinis diskas

 ●Dušo galvutė

 ●Vadovo žiedas

 ●LED Epi imtuvas

 ●Įpurškimo antgalis

 ●Maskuojantis žiedas

 ● Šilumos skydas


Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis 14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė 0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas 6.3 10-6/K
Kietumas (HK) 2000 HK
Atsparumas 1×10-5Ohm*cm
Terminis stabilumas <2500 ℃
Keičiasi grafito dydis -10-20um
Dangos storis ≥20um tipinė vertė (35um±10um)


TaC dangos EDX duomenys

EDX data of TaC coating


TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas Atominis procentas
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Vidutinis
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC padengtas trijų žiedlapių žiedas

TaC padengtas trijų žiedlapių žiedas

„Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis TAC dengtas trijų žiedų žiedų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Mes daugelį metų specializuojamės TAC ir SIC dangoje. Mūsų produktai turi atsparumą korozijai, dideliam stiprumui. Mes tikimės, kad tapsime jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Tantalo karbidas padengtas

Tantalo karbidas padengtas

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalum karbidu padengtas Chucko gamintojas ir novatorius Kinijoje. Mes daugelį metų specializuojamės TAC dangoje. Mūsų produktai turi aukštą grynumą ir aukštą atsparumą temperatūrai iki 2000 ℃. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Tantalo karbido dengtas dangtelis

Tantalo karbido dengtas dangtelis

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalum karbido dengto dangos gamintojas ir novatorius Kinijoje. Mes daugelį metų specializuojamės TAC ir SIC dangoje. Mūsų produktai turi atsparumą korozijai, dideliam stiprumui. Mes tikimės, kad tapsime jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Ypač grynas grafito apatinis pusmėnulis

Ypač grynas grafito apatinis pusmėnulis

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti pritaikyto „Ultra Pure“ grafito apatinio pusmėnulio Kinijoje tiekėjas, daugelį metų specializuojasi pažangias medžiagas. Mūsų ypač gryno grafito apatinis pusmėnulis yra specialiai sukurtas SIC epitaksinei įrangai, užtikrinančiai puikų našumą. Pagaminta iš „Ultra-Pure“ importuoto grafito, jis siūlo patikimumą ir ilgaamžiškumą. Apsilankykite mūsų gamykloje Kinijoje, kad ištyrtumėte mūsų aukštos kokybės ypač gryno grafito apatinį pusmėnulį iš pirmų rankų.
Viršutinė pusmėnulio dalis dengta

Viršutinė pusmėnulio dalis dengta

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti pritaikytos viršutinės pusmėnulio dalies, padengtos Kinijoje, tiekėja, kuri daugiau nei 20 metų specializuojasi pažangias medžiagas. „Vetek“ puslaidininkio viršutinė puslaidininko dalis, padengta SiC, yra specialiai sukurta SiC epitaksinei įrangai, tarnaujančiai kaip esminis komponentas reakcijos kameroje. Pagaminta iš „Ultra-Pure“, puslaidininkio lygio grafito, jis užtikrina puikų našumą. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje.
Silicio karbido epitaksijos vaflių laikiklis

Silicio karbido epitaksijos vaflių laikiklis

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti pritaikyta silicio karbido epitaksijos vaflių nešiklio tiekėjas Kinijoje. Mes daugiau nei 20 metų specializuojamės pažengusioje medžiagoje. Mes siūlome silicio karbido epitaksijos vaflių nešiklį, skirtą SIC substrate, augančiam SIC epitaksiniam sluoksniui SICS epitaksiniame reaktoriuje. Šis silicio karbido epitaksijos vaflių nešiklis yra svarbi SiC dengta pusmėnulio dalies dalis, atsparumas aukštai temperatūrai, atsparumas oksidacijai, atsparumas dilimui. Mes sveikiname jus apsilankyti mūsų gamykloje Kinijoje. Norėdami bet kada pasikonsultuoti.
Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept