Produktai

Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.


Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.


TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.


Pagrindinės savybės:

 ●Temperatūros stabilumas

 ●Itin aukšto grynumo

 ●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

 ●Atsparumas šiluminiam poveikiui

 ●Stiprus sukibimas su grafitu

 ●Konforminės dangos padengimas

 Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)


Programos:

 ●Vaflių laikiklis

 ● Indukcinis šildymo jutiklis

 ● Varžinis kaitinimo elementas

 ●Palydovinis diskas

 ●Dušo galvutė

 ●Vadovo žiedas

 ●LED Epi imtuvas

 ●Įpurškimo antgalis

 ●Maskuojantis žiedas

 ● Šilumos skydas


Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis 14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė 0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas 6.3 10-6/K
Kietumas (HK) 2000 HK
Atsparumas 1×10-5Ohm*cm
Terminis stabilumas <2500 ℃
Keičiasi grafito dydis -10-20um
Dangos storis ≥20um tipinė vertė (35um±10um)


TaC dangos EDX duomenys

EDX data of TaC coating


TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas Atominis procentas
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Vidutinis
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC dangos žiedas

CVD TAC dangos žiedas

Puslaidininkių pramonėje CVD TAC dangos žiedas yra labai naudingas komponentas, skirtas patenkinti reikalaujančius silicio karbido (SIC) kristalų augimo procesų reikalavimus. „Vetek Semiconductor“ CVD TAC dangos žiedas suteikia puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminiam inertiškumui, todėl jis yra idealus pasirinkimas aplinkoje, kuriai būdinga aukštesnė temperatūra ir korozinės sąlygos. Mes esame įsipareigoję sukurti efektyvų silicio karbido vieno kristalų priedų gamybą. Jei norite gauti daugiau klausimų, susisiekite su mumis.
Lpe sic epi halfmoon

Lpe sic epi halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon yra specialus horizontalios epitaksinės krosnies dizainas, revoliucinis produktas, skirtas padidinti LPE reaktoriaus SiC epitaksijos procesus. Šis pažangiausias sprendimas pasižymi keliomis pagrindinėmis savybėmis, kurios užtikrina puikų našumą ir efektyvumą visose jūsų gamybos operacijose. „Vetek Semiconductor“ profesionaliai gamina LPE SiC Epi pusmėnulio 6 colių, 8 colių įstrižainės. Nekantraujame užmegzti ilgalaikį bendradarbiavimą su jumis.
LED EPI

LED EPI

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti TAC dangų ir SIC dangos grafito dalių tiekėjas. Mes specializuojamės moderniausių LED EPI receptorių, būtinų LED epitaksijos procesams, gamybai. Laukiu tolesnių konsultacijų.
MOCVD jautrintuvas su TAC danga

MOCVD jautrintuvas su TAC danga

„Vetek Semiconductor“ yra išsamus tiekėjas, susijęs su TAC dangų ir SIC dangos dalių tyrimais, plėtra, gamyba, projektavimu ir pardavimais. Mūsų kompetencija yra moderniausias MOCVD jautrininko su TAC danga, kuri vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį LED epitaksijos procese. Mes sveikiname jus aptarti su mumis ir gauti daugiau informacijos.
TaC padengtas gilus UV LED susceptorius

TaC padengtas gilus UV LED susceptorius

TAC danga yra naujos kartos danga, kuria plėtojama atšiauria aplinka. „Vetek“ puslaidininkis yra integruotas tiekėjas, užsiimantis TAC dangų tyrimų ir plėtros, gamybos, projektavimo ir pardavimais. Mes specializuojamės gamyboje, gaminant briaunų pjaustytą TAC dengtų UV LED receptorių, kurie yra esminiai LED epitaksijos proceso komponentai. Mūsų TAC dengtas gilus UV LED 2 -ojo stoties metu siūlomas didelis šilumos laidumas, didelis mechaninis stiprumas, pagerintas gamybos efektyvumas ir epitaksinės vaflinės apsaugos. Sveiki atvykę į mus.
Tantalo karbido tac dengtas pusmėnuo

Tantalo karbido tac dengtas pusmėnuo

„HalfMoon“ dalys, padengtos CVD TAC danga, yra patvaresnės nei SIC padengtos pusmėnulio dalys. kaina. Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, kad galėtumėte toliau diskutuoti apie ilgalaikį bendradarbiavimą.
Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept