TaC padengtas grafito imtuvas

Kviečiame atvykti į mūsų gamyklą „VeTek Semiconductor“, kad įsigytumėte naujausią parduodamą, žemą kainą ir aukštos kokybės TaC padengtą grafito susceptorių. Nekantraujame su jumis bendradarbiauti.

Tantalo karbido keraminės medžiagos lydymosi temperatūra iki 3880 ℃, yra aukšta lydymosi temperatūra ir geras junginio cheminis stabilumas, jo aukštos temperatūros aplinka vis tiek gali išlaikyti stabilų veikimą, be to, ji taip pat turi atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą cheminei korozijai, gerą cheminę medžiagą. ir mechaninis suderinamumas su anglies medžiagomis ir kitomis savybėmis, todėl tai yra ideali grafito pagrindo apsauginė dangos medžiaga. Tantalo karbido danga gali veiksmingai apsaugoti grafito komponentus nuo karšto amoniako, vandenilio ir silicio garų bei išlydyto metalo poveikio atšiaurioje aplinkoje, žymiai pailginti grafito komponentų tarnavimo laiką ir slopinti priemaišų migraciją grafite, užtikrina epitaksijos ir kristalų augimo kokybę. Jis daugiausia naudojamas šlapios keramikos procese.

Cheminis garų nusėdimas (CVD) yra pats brandžiausias ir optimaliausias paruošimo metodas tantalum karbido dengimui grafito paviršiuje.

CVD TAC padengimo metodas, skirtas TAC padengtam grafito suvokėjui:

Dengimo procese naudojamas atitinkamai TACL5 ir propilenas kaip anglies šaltinis ir tantalum šaltinis, o argonas - kaip nešiklio dujos, kad tantalum Pentachlorido garai atneštų į reakcijos kamerą po aukštos temperatūros dujinimo. Esant tikslinei temperatūrai ir slėgiui, pirmtako medžiagos garai yra adsorbuojami grafito dalies paviršiuje, ir atsiranda sudėtingų cheminių reakcijų, tokių kaip skilimas ir anglies šaltinio bei tantalo šaltinio derinys. Tuo pačiu metu taip pat dalyvauja paviršiaus reakcijų, tokių kaip pirmtako difuzija ir šalutinių produktų desorbcija, serija. Galiausiai grafito dalies paviršiuje susidaro tankus apsauginis sluoksnis, kuris apsaugo grafito dalį nuo stabilumo esant ekstremalioms aplinkos sąlygoms. Grafito medžiagų taikymo scenarijai žymiai išplėsta.

TaC padengto grafito susceptoriaus gaminio parametras:

Gamybos parduotuvės:

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: