Produktai

Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.


Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.


TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.


Pagrindinės savybės:

 ●Temperatūros stabilumas

 ●Itin aukšto grynumo

 ●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

 ●Atsparumas šiluminiam poveikiui

 ●Stiprus sukibimas su grafitu

 ●Konforminės dangos padengimas

 Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)


Programos:

 ●Vaflių laikiklis

 ● Indukcinis šildymo jutiklis

 ● Varžinis kaitinimo elementas

 ●Palydovinis diskas

 ●Dušo galvutė

 ●Vadovo žiedas

 ●LED Epi imtuvas

 ●Įpurškimo antgalis

 ●Maskuojantis žiedas

 ● Šilumos skydas


Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis 14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė 0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas 6.3 10-6/K
Kietumas (HK) 2000 HK
Atsparumas 1×10-5Ohm*cm
Terminis stabilumas <2500 ℃
Keičiasi grafito dydis -10-20um
Dangos storis ≥20um tipinė vertė (35um±10um)


TaC dangos EDX duomenys

EDX data of TaC coating


TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas Atominis procentas
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Vidutinis
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Porėtas grafitas su TAC padengtu

Porėtas grafitas su TAC padengtu

Poruotas grafitas su padengtu TAC yra pažangi puslaidininkių apdorojimo medžiaga, kurią teikia „Vetek“ puslaidininkis. Porėtas grafitas su TAC dengtu sujungia akyto grafito ir tantalum karbido (TAC) dangos pranašumus, turinčius gerą šilumos laidumą ir dujų pralaidumą. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojęs tiekti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis.
Tantalo karbido dangos dangtis

Tantalo karbido dangos dangtis

„Tantalum“ karbido dangos dangtį sudaro aukšto grynumo grafito ir TAC danga. „Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis „Tantalum“ karbido dangos dangos tiekėjas ir gamintojas Kinijoje. Mes sutelkiame dėmesį į aukšto grynumo, aukštai temperatūros atsparių tantalum karbido produktų tiekimą. Mūsų tantalo karbido dengtas dangtis pasižymi puikiu našumu ir patikimumu ir gali efektyviai apsaugoti medžiagas ypač aukštoje temperatūroje ir ėsdinančioje aplinkoje. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje. Sveiki atvykę į konsultacijas bet kuriuo metu.
TAC padengtas deflektoriaus žiedas

TAC padengtas deflektoriaus žiedas

„Vetek Semiconductor“ TAC dengtas deflektoriaus žiedas yra labai specializuotas komponentas, skirtas SiC kristalų augimo procesams. TAC danga suteikia puikų atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį inertiškumą, kad būtų galima susidoroti su aukšta temperatūra ir korozine aplinka kristalų augimo proceso metu. Tai užtikrina stabilų komponento našumą ir ilgą laiką, sumažinant pakeitimo ir prastovų dažnį. Mes esame įsipareigoję tiekti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės, kad būsime jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.
Tantalum karbido dengtas vamzdis kristalų augimui

Tantalum karbido dengtas vamzdis kristalų augimui

Tantalum karbido dengtas vamzdis kristalų augimui daugiausia naudojamas SiC kristalų augimo procese. „Vetek Semiconductor“ daugelį metų tiekia „Tantalum“ karbido dengtą vamzdelį, skirtą kristalų augimui, ir daugelį metų dirba TAC dangos srityje. Mūsų produktai turi didelį grynumą ir aukštą atsparumą temperatūrai. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje. Nesivaržykite mūsų teirautis.
TAC padengtas žiedas, skirtas SiC epitaksiniam reaktoriui

TAC padengtas žiedas, skirtas SiC epitaksiniam reaktoriui

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujantis TaC padengto žiedo SiC epitaksiniam reaktoriui gamintojas ir technologijų novatorius Kinijoje, daugiausia dėmesio skiriantis didelio našumo SiC epitaksiniams reaktoriams skirtų sprendimų teikimui. Turime ilgametę TaC dengimo technologijos patirtį. TaC padengtas žiedas pasižymi dideliu grynumu, dideliu stabilumu, puikiu atsparumu korozijai ir kt., Gali užtikrinti ilgalaikį stabilų veikimą atšiaurioje epitaksinių reaktorių darbo aplinkoje. Tikimės užmegzti su jumis ilgalaikę strateginę partnerystę.
Tantalo karbidu dengta pusmėnulio dalis, skirta LPE

Tantalo karbidu dengta pusmėnulio dalis, skirta LPE

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu padengtos pusmėnulio dalies, skirtos LPE, tiekėja Kinijoje, daugelį metų daugiausia dėmesio skirianti TaC dengimo technologijai. Mūsų tantalo karbidu dengta pusmėnulio dalis, skirta LPE, skirta skystosios fazės epitaksijos procesui ir gali atlaikyti aukštą temperatūrą, viršijančią 2000 laipsnių Celsijaus. Dėl puikių medžiagų eksploatacinių savybių ir proceso naujovių mūsų gaminių tarnavimo laikas yra pirmaujantis pramonėje. „VeTek Semiconductor“ tikisi tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept