TaC padengtas trijų žiedlapių žiedas

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus Kinijos TaC dengto trijų žiedlapių žiedo gamintojas ir tiekėjas. TaC dengtas trijų žiedlapių žiedas naudojamas Aixtron G10 nusodinimo sistemoje, skirtoje sudėtiniams puslaidininkiams, G10-GaN 150/200 mm didelio pralaidumo epitaksijai, skirta GaN galiai ir RF. programas.

VeTek Semiconductor TaC danga yra naujos kartos aukštai temperatūrai atspari medžiaga, pasižyminti geresniu stabilumu aukštoje temperatūroje nei SiC, kaip korozijai atspari danga, oksidacijai atspari danga, dilimui atspari danga, gali būti naudojama aplinkoje, aukštesnėje nei 2000 ℃, plačiai naudojama aviacijos ir kosmoso itin aukštos temperatūros karšto galo dalys, trečiosios kartos puslaidininkių monokristalų augimas ir kitose srityse.

Produkto savybės:

1. Didelis grynumas, priemaišų kiekis <5ppm

2. Aukštos temperatūros atsparumas, atsparumas korozijai, didelis tankis, didelis tankis

3. Aukštoje temperatūroje tai yra chemiškai inertiška amoniakui, vandeniliui, silanui ir silikonui ir turi gerą šiluminį stabilumą.

4. Šiluminio smūgio atsparumas gali pagreitinti veikimo ciklą

5. Stiprus grafito sukibimas užtikrina ilgą tarnavimo laiką ir dengimo delaminaciją.

6. Griežti matmenų nuokrypiai.

Pagrindinės programos:

1. Epitaksinis augimas

2. Vieno kristalų augimas

3. Aukštos temperatūros korozijos nukreipimas

4. Aukštai temperatūrai ir oksidacijai atsparus antgalis

5. Dujų turbinos mentės

TaC padengto trijų žiedlapių žiedo gaminio parametras

Palyginkite puslaidininkių gamybos parduotuvę ：