Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas
TaC padengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC dangos danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

TAC padengtas kreipiamojo žiedas

TAC padengtas kreipiamojo žiedas yra pagamintas iš aukštos kokybės grafito ir TAC dangos. Rengiant SIC kristalus PVT metodu, „Vetek Semiconductor“ TAC padengtas kreipiamojo žiedas daugiausia naudojamas nukreipti ir valdyti oro srautą, optimizuoti vieno kristalų augimo procesą ir pagerinti vieno kristalų derlių. Su puikia TAC dangos technologija, mūsų produktai pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumui korozijai ir geros mechaninės savybės.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Tantalo karbidas padengtas planetų sukimosi diskas

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbidu padengto planetinio sukimosi disko gamintoja ir tiekėja Kinijoje, daugelį metų daugiausia dėmesio skirianti TaC dangos technologijai. Mūsų gaminiai pasižymi dideliu grynumu ir puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, kuriuos plačiai pripažįsta puslaidininkių gamintojai. „VeTek“ puslaidininkinis tantalo karbidu padengtas planetinis sukimosi diskas tapo plokštelių epitaksijos pramonės pagrindu. Tikimės užmegzti su jumis ilgalaikę partnerystę, kad kartu skatintume technologinę pažangą ir gamybos optimizavimą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TaC padengtas grafito plokštelių laikiklis

„VeTek Semiconductor“ klientams kruopščiai sukūrė TaC padengtą grafito plokštelių laikiklį. Jis sudarytas iš didelio grynumo grafito ir TaC dangos, kuri tinka įvairiems plokštelių epitaksiniam plokštelių apdorojimui. Jau daugelį metų specializuojamės SiC ir TaC dangose. Palyginti su SiC danga, mūsų TaC padengtas grafito plokštelių laikiklis yra atsparesnis temperatūrai ir atsparus dilimui. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Tantalo karbido danga

Pagrindinės savybės:

Programos:

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos EDX duomenys：

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

TAC padengtas kreipiamojo žiedas

Tantalo karbidas padengtas planetų sukimosi diskas

TaC padengtas grafito plokštelių laikiklis

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas