Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas
TaC padengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC dangos danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

TAC dangos pasukimo jauttuvas

Kaip profesionalus gamintojas, novatorius ir TAC dangos rotacijos pasukimo gaminių gaminių Kinijoje vadovas. „Vetek“ puslaidininkių TAC dangos sukimosi pasukimas paprastai yra montuojamas cheminio garų nusėdimo (CVD) ir molekulinės spindulio epitaksijos (MBE) įrangoje, kad būtų galima palaikyti ir pasukti vaflius, kad būtų užtikrintas vienodas medžiagos nusėdimas ir efektyvi reakcija. Tai yra pagrindinis puslaidininkių apdorojimo komponentas. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

CVD TAC dangos tiglis

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir CVD TAC dangos „Crucible“ produktų gamintojas ir lyderis Kinijoje. CVD TAC dangos tiglis yra pagrįstas tantalum anglies (TAC) danga. Tantalo anglies danga yra tolygiai padengta tiglio paviršiaus, naudojant cheminio garų nusėdimo (CVD) procesą, kad padidintų jo atsparumą šilumai ir atsparumą korozijai. Tai yra medžiagos įrankis, specialiai naudojamas aukštos temperatūros ekstremaliose aplinkose. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

CVD TAC dangos vaflių laikiklis

Kaip profesionalus CVD TAC dangos vaflių nešiklio gaminių gamintojas ir gamyklos Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių CVD TAC dangos vaflių vaflių laikiklis yra vaflių nešiojimo įrankis, specialiai sukurtas aukštai temperatūrai ir korozinei aplinkai puslaidininkių gamyboje. ir CVD TAC dangos vaflių nešiklis turi didelį mechaninį stiprumą, puikų atsparumą korozijai ir šiluminį stabilumą, suteikdamas reikiamą garantiją gaminant aukštos kokybės puslaidininkinius prietaisus. Laukiami tolesni jūsų užklausos.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TaC dangos šildytuvas

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater turi itin aukštą lydymosi temperatūrą (apie 3880°C). Aukšta lydymosi temperatūra leidžia jam veikti itin aukštoje temperatūroje, ypač augant galio nitrido (GaN) epitaksiniams sluoksniams metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) procese. „VeTek Semiconductor“ yra įsipareigojusi teikti klientams pritaikytus produktų sprendimus. Lauksime jūsų žinučių.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

CVD TAC danga

„VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti Kinijos CVD TAC dangos gaminių gamintoja. Daugelį metų daugiausia dėmesio skiriame įvairiems CVD TAC dangos produktams, tokiems kaip CVD TaC dangos danga, CVD TaC dangos žiedas. „VeTek Semiconductor“ palaiko pritaikytas produktų paslaugas ir patenkinamas produktų kainas bei laukia tolesnės jūsų konsultacijos.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC padengtas chuck

Esant atsparumui aukštai temperatūrai, cheminiam inertiškumui ir puikiam našumui, „Vetek Semiconductor“ TAC padengti griebtuvai yra skirti puslaidininkių krosnims. Mes tikime, kad mūsų produktai gali suteikti jums pažangių technologijų ir kokybiškų produktų sprendimų.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Tantalo karbido danga

Pagrindinės savybės:

Programos:

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos EDX duomenys：

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

TAC dangos pasukimo jauttuvas

CVD TAC dangos tiglis

CVD TAC dangos vaflių laikiklis

TaC dangos šildytuvas

CVD TAC danga

TAC padengtas chuck

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas