Produktai

Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.


Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.


TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.


Pagrindinės savybės:

 ●Temperatūros stabilumas

 ●Itin aukšto grynumo

 ●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

 ●Atsparumas šiluminiam poveikiui

 ●Stiprus sukibimas su grafitu

 ●Konforminės dangos padengimas

 Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)


Programos:

 ●Vaflių laikiklis

 ● Indukcinis šildymo jutiklis

 ● Varžinis kaitinimo elementas

 ●Palydovinis diskas

 ●Dušo galvutė

 ●Vadovo žiedas

 ●LED Epi imtuvas

 ●Įpurškimo antgalis

 ●Maskuojantis žiedas

 ● Šilumos skydas


Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis 14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė 0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas 6.3 10-6/K
Kietumas (HK) 2000 HK
Atsparumas 1×10-5Ohm*cm
Terminis stabilumas <2500 ℃
Keičiasi grafito dydis -10-20um
Dangos storis ≥20um tipinė vertė (35um±10um)


TaC dangos EDX duomenys

EDX data of TaC coating


TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas Atominis procentas
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Vidutinis
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantalo karbido žiedas

Tantalo karbido žiedas

Kaip pažengęs „Tantalum Carbide Ring“ produktų gamintojas ir gamintojas Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių tantalo karbido žiedas turi ypač didelį kietumą, atsparumą dilimui, atsparumui aukštai temperatūrai ir cheminį stabilumą ir yra plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos lauke. Ypač CVD, PVD, jonų implantacijos procese, ėsdinimo procese ir vaflių apdorojant ir transportavimu, tai yra nepakeičiamas produktas, skirtas puslaidininkių apdorojimui ir gamybai. Laukiu tolesnių konsultacijų.
Tantalo karbido dangos atrama

Tantalo karbido dangos atrama

Kaip profesionalus „Tantalum“ karbido dangos palaikymo produktų gamintojas ir gamykla Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių tantalum karbido danga paprastai naudojama paviršiaus dengiant konstrukcinius komponentus arba atraminius komponentus puslaidininkių įrangoje, ypač pagrindinių įrangos komponentų paviršiaus apsaugai nuo puslaidininkių gamybos procesų, tokių kaip CVD ir PVD. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.
Tantalo karbido kreipiamojo žiedas

Tantalo karbido kreipiamojo žiedas

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir „Tantalum Carbide Guide Guide“ žiedinių produktų gamintojas ir lyderis Kinijoje. Mūsų „Tantalum“ karbido (TAC) kreipiamojo žiedas yra aukšto našumo žiedo komponentas, pagamintas iš tantalo karbido, kuris dažniausiai naudojamas puslaidininkių perdirbimo įrangoje, ypač aukštos temperatūros ir labai korozinėje aplinkoje, tokioje kaip CVD, PVD, ėsdinimas ir difuzija. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojęs pateikti pažangias technologijas ir gaminių sprendimus puslaidininkių pramonei ir palankiai vertina jūsų tolesnius klausimus.
TAC dangos pasukimo jauttuvas

TAC dangos pasukimo jauttuvas

Kaip profesionalus gamintojas, novatorius ir TAC dangos rotacijos pasukimo gaminių gaminių Kinijoje vadovas. „Vetek“ puslaidininkių TAC dangos sukimosi pasukimas paprastai yra montuojamas cheminio garų nusėdimo (CVD) ir molekulinės spindulio epitaksijos (MBE) įrangoje, kad būtų galima palaikyti ir pasukti vaflius, kad būtų užtikrintas vienodas medžiagos nusėdimas ir efektyvi reakcija. Tai yra pagrindinis puslaidininkių apdorojimo komponentas. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.
CVD TAC dangos tiglis

CVD TAC dangos tiglis

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir CVD TAC dangos „Crucible“ produktų gamintojas ir lyderis Kinijoje. CVD TAC dangos tiglis yra pagrįstas tantalum anglies (TAC) danga. Tantalo anglies danga yra tolygiai padengta tiglio paviršiaus, naudojant cheminio garų nusėdimo (CVD) procesą, kad padidintų jo atsparumą šilumai ir atsparumą korozijai. Tai yra medžiagos įrankis, specialiai naudojamas aukštos temperatūros ekstremaliose aplinkose. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.
CVD TAC dangos vaflių laikiklis

CVD TAC dangos vaflių laikiklis

Kaip profesionalus CVD TAC dangos vaflių nešiklio gaminių gamintojas ir gamyklos Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių CVD TAC dangos vaflių vaflių laikiklis yra vaflių nešiojimo įrankis, specialiai sukurtas aukštai temperatūrai ir korozinei aplinkai puslaidininkių gamyboje. ir CVD TAC dangos vaflių nešiklis turi didelį mechaninį stiprumą, puikų atsparumą korozijai ir šiluminį stabilumą, suteikdamas reikiamą garantiją gaminant aukštos kokybės puslaidininkinius prietaisus. Laukiami tolesni jūsų užklausos.
Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept