Tantalo karbido žiedas

„Vetek Semiconductor“ tantalo karbido (TAC) žiedas naudoja aukštos kokybės grafitą kaip pagrindinę medžiagą ir, savo unikalios struktūros dėka, gali išlaikyti savo formą ir mechanines savybes esant ekstremalioms kristalų augimo krosnies sąlygoms. Graphito didelis atsparumas šilumai suteikia puikų stabilumą visameKristalų augimo procesas.

Išorinis TAC žiedo sluoksnis yra padengtas aTantalo karbido danga, medžiaga, žinoma dėl ypač didelio kietumo, daugiau nei 3880 ° C, lydymosi taško ir puikus atsparumas cheminei korozijai, todėl ji ypač tinka aukštos temperatūros veikimui. „Tantalum“ karbido danga suteikia stiprų barjerą, kad būtų galima efektyviai užkirsti kelią smurtinėms cheminėms reakcijoms ir užtikrinti, kad grafito šerdis nėra korozija dėl aukštos temperatūros krosnių dujų.

PerSilicio karbido (sic) kristalų augimas, stabilios ir vienodos augimo sąlygos yra pagrindinės užtikrinant aukštos kokybės kristalus. Tantalum karbido dangos žiedas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį reguliuojant dujų srautą ir optimizuojant temperatūros pasiskirstymą krosnyje. Kaip dujų gido žiedas, TAC žiedas užtikrina vienodą šilumos energijos ir reakcijos dujų pasiskirstymą, užtikrinantį vienodą SiC kristalų augimą ir stabilumą.

Be to, didelis grafito šilumos laidumas kartu su apsauginiu tantalum karbido padengto efektu leidžia TAC kreipiamojo žiedui stabiliai veikti aukštos temperatūros aplinkoje, reikalingoje SiC kristalų augimui. Jo struktūrinis stiprumas ir matmenų stabilumas yra labai svarbus palaikant krosnies sąlygas, o tai daro tiesioginę įtaką pagamintų kristalų kokybei. Sumažinus šiluminius svyravimus ir chemines reakcijas krosnyje, TAC dangos žiedas padeda generuoti kristalus, turinčius puikias elektronines savybes, kad būtų galima naudoti aukštos kokybės puslaidininkių.

„Vetek“ puslaidininkio tantalo karbido žiedas yra pagrindinis komponentasSilicio karbido kristalų augimo krosnysir išsiskiria dėl puikaus patvarumo, šiluminio stabilumo ir cheminio atsparumo. Unikalus grafito šerdies ir TAC dangos derinys leidžia išlaikyti struktūrinį vientisumą ir funkcionalumą atšiauriomis sąlygomis. Tiksliai kontroliuodamas temperatūros ir dujų srautą krosnyje, TAC dangos žiedas suteikia reikiamas sąlygas aukštos kokybės SiC kristalų gamybai, kurios yra labai svarbios pažangiausiems puslaidininkių komponentų gamybai.

Tantalo karbido (TAC) dengimas ant mikroskopinio skerspjūvio：