Porėtas tantalo karbidas

„Vetek“ puslaidininkis Porėtas tantalo karbidas (TAC) yra aukštos kokybės keraminė medžiaga, sujungianti tantalumo ir anglies savybes. Jo akyta struktūra labai tinka konkrečioms pritaikymams aukštoje temperatūroje ir ekstremalioje aplinkoje. TAC sujungia puikų kietumą, šiluminį stabilumą ir cheminį atsparumą, todėl jis yra idealus medžiagos pasirinkimas puslaidininkių apdorojime.

Porėtą tantalo karbidą (TAC) sudaro tantalumas (TA) ir anglies (c), kuriame tantalumas sudaro stiprų cheminį ryšį su anglies atomais, suteikdama medžiagai ypač didelį patvarumą ir atsparumą drabužiams. Porėto TAC struktūra sukuriama medžiagos gamybos proceso metu, o poringumą galima valdyti atsižvelgiant į konkrečius taikymo poreikius. Šį produktą paprastai gaminaCheminis garų nusėdimas (CVD)Metodas, užtikrinantis tikslų porų dydžio ir pasiskirstymo kontrolę.

Tantalum karbido molekulinė struktūra

„Vetek“ puslaidininkis Porėtas tantalo karbidas (TAC) turi šias produkto savybes

● Akytumas: Poruota struktūra suteikia skirtingas funkcijas konkrečiuose taikymo scenarijuose, įskaitant dujų difuziją, filtravimą ar kontroliuojamą šilumos išsklaidymą.

● Aukšta lydymosi temperatūra: „Tantalum“ karbido lydymosi taškas yra apie 3880 ° C, kuris tinka ypač aukštai temperatūrai.

● Puikus kietumas: Porėtas TAC yra ypač didelis kietumas, kuris yra apie 9-10 Mohs kietumo skalėje, panašiai kaip deimantas. , ir gali atsispirti mechaniniam nusidėvėjimui ekstremaliomis sąlygomis.

● Šilumos stabilumas: „Tantalum“ karbido (TAC) medžiaga gali išlikti stabili aukštos temperatūros aplinkoje ir turi stiprų šiluminį stabilumą, užtikrinant nuoseklų jo veikimą aukštos temperatūros aplinkoje.

● didelis šilumos laidumas: Nepaisant jo poringumo, porėtas tantalum karbidas vis tiek išlaiko gerą šilumos laidumą, užtikrindamas efektyvų šilumos perdavimą.

● Žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas: Tantalum karbido (TAC) žemo šiluminio išsiplėtimo koeficientas padeda medžiagai išlikti stabiliai stabiliai esant dideliems temperatūros svyravimams ir sumažina šiluminio įtempio poveikį.

TAC dangos fizinės savybės

Puslaidininkių gamyboje porėtas tantalo karbidas (TAC) vaidina šį pagrindinį pagrindinį vaidmenįs

Aukštos temperatūros procesuose, tokiuose kaipPlazmos ofortasir CVD, „Vetek“ puslaidininkis Porėtas tantalo karbidas dažnai naudojamas kaip apsauginė danga perdirbimo įrangai. Taip yra dėl stipraus atsparumo korozijaiTAC dangair jo aukštos temperatūros stabilumas. Šios savybės užtikrina, kad ji veiksmingai apsaugo paviršius, paveiktus reaktyviųjų dujų ar ekstremalios temperatūros, taip užtikrinant normalią aukštos temperatūros procesų reakciją.

Difuzijos procesuose porėtas tantalo karbidas gali būti veiksmingas difuzijos barjeras, kad būtų išvengta medžiagų maišymo aukštos temperatūros procesuose. Ši savybė dažnai naudojama dopantų difuzijai kontroliuoti tokiuose procesuose kaip jonų implantacija ir puslaidininkių plokštelių grynumo valdymas.

Porėtinė „Vetek“ puslaidininkio porėto tantalum karbido struktūra yra labai tinkama puslaidininkių perdirbimo aplinkai, kurioms reikalingas tikslus dujų srauto valdymas ar filtravimas. Šiame procese porėtas TAC daugiausia vaidina dujų filtravimo ir pasiskirstymo vaidmenį. Jo cheminis inertiškumas užtikrina, kad filtravimo proceso metu nebus įvesti jokių teršalų. Tai iš tikrųjų garantuoja perdirbto produkto grynumą.

Tantalo karbido (TAC) dengimas ant mikroskopinio skerspjūvio