TAC dangos pasukimo jauttuvas

„Vetek“ puslaidininkių TAC dangos pasukimo pasukimas yra pagrindinis vaflių valdymo puslaidininkių apdorojimo komponentas. JoTac kąMūsųturi puikų aukštos temperatūros toleranciją (lydymosi tašką iki 3880 ° C), cheminio stabilumo ir atsparumo korozijai, kurie užtikrina aukštą tikslumą ir aukštą vaflių apdorojimo kokybę.

TAC dangos pasukimo jautrumas (tantalum anglies dangos pasukimo pasukimas) yra pagrindinis įrangos komponentas, naudojamas puslaidininkių apdorojime. Paprastai jis įdiegtasCheminis garų nusėdimas (CVD)ir molekulinės pluošto epitaksijos (MBE) įranga, skirta palaikyti ir pasukti vaflius, kad būtų užtikrintas vienodas medžiagų nusėdimas ir efektyvi reakcija. Šis produkto tipas žymiai pagerina įrangos tarnavimo laiką ir veikimą aukštoje temperatūroje ir ėsdinančioje aplinkoje, padengdamas substratą su„Tantalum Carbon“ (TAC) danga.

TAC dangos pasukimo pastabą paprastai sudaro TAC dengimas ir grafitas arba silicio karbidas kaip substrato medžiaga. TAC yra ypač aukštos temperatūros keraminė medžiaga, turinti ypač aukštą lydymosi tašką (lydymosi taškas iki 3880 ° C), kietumas („Vickers“ kietumas yra apie 2000 HK) ir puikus cheminės korozijos atsparumas. „Vetek“ puslaidininkis gali efektyviai ir tolygiai uždengti „Tantalum“ anglies dangą ant substrato medžiagos per CVD technologiją.

Rotacijos jautrininkas paprastai yra pagamintas iš didelio šilumos laidumo ir didelio stiprumo medžiagų (grafito arbaSilicio karbidas), kuris gali suteikti gerą mechaninį atramą ir šiluminį stabilumą aukštos temperatūros aplinkoje. Puikus šių dviejų derinys lemia puikų TAC dangos pasukimo jautrininko našumą palaikančiuose ir besisukančiuose vafliuose.

TAC dangos pasukimo pastaba palaiko ir suka vaflį CVD procese. „Vickers“ TAC kietumas yra apie 2000 HK, o tai suteikia galimybę atsispirti pakartotinei medžiagos trinčiai ir atlikti gerą palaikomąjį vaidmenį, taip užtikrinant, kad reakcijos dujos tolygiai pasiskirsto ant vaflinio paviršiaus, o medžiaga tolygiai nusėda. Tuo pačiu metu TAC dangos aukšta temperatūros tolerancija ir atsparumas korozijai leidžia ją ilgą laiką naudoti aukštoje temperatūroje ir korozinėje atmosferoje, o tai veiksmingai išvengia vaflių ir nešiklio užteršimo.

Be to, TAC šilumos laidumas yra 21 W/m · k, kuris turi gerą šilumos perdavimą. Todėl TAC dangos pasukimo suvokėjas gali tolygiai šildyti vaflius aukštos temperatūros sąlygomis ir užtikrinti dujų nusodinimo proceso vienodumą sukimosi judesiu, taip palaikant konsistenciją ir aukštą kokybę.Vaflių augimas.

Tantalo karbido (TAC) dengimas ant mikroskopinio skerspjūvio：

TAC dangos fizinės savybės：

TAC dangos rotacijos paspartinimo parduotuvės: