Akytas tantalo karbidas (TaC) padengtas grafito žiedas

Produkto savybės

• Pagrindinė įranga:Skirtas SiC monokristalų auginimo krosnims, kurios veikia su PVT technologija.
• Pirminis pritaikymas:Tinka šiluminio lauko sistemoms, auginant trečiosios kartos puslaidininkinius SiC kristalus.
• Stabilumas aukštoje temperatūroje:TaC danga išlaiko struktūrinį vientisumą esant itin aukštai temperatūrai, palaikydama ilgesnį veikimą sudėtingoje šiluminėje aplinkoje.
• Apsauga nuo korozijos:Tankus CVD TaC sluoksnis apsaugo grafito substratą nuo silicio garų, anglies turinčių dujų ir kitų korozinių rūšių, atsirandančių augant SiC.
• Šiluminio lauko našumas:Porėtas grafito pagrindas padeda paskirstyti šilumą ir transportuoti garus, o tai padeda išlaikyti stabilias augimo sąlygas.
• Mažas užterštumas:Didelio grynumo pradinės medžiagos ir tanki danga riboja priemaišų išsiskyrimą ir dalelių išsiskyrimą, o tai pagerina kristalų kokybę.
• Pailgintas tarnavimo laikas:TaC sluoksnis pagerina atsparumą oksidacijai, paviršiaus kietumą ir bendrą ilgaamžiškumą aukštesnėje temperatūroje.
• Dangos sukibimas:CVD procesas sukuria stiprų ryšį tarp TaC plėvelės ir grafito pagrindo.
• Pasirinktinės parinktys:Matmenys, konstrukcijos detalės ir dangos specifikacijos gali būti koreguojamos, kad atitiktų skirtingus SiC auginimo krosnies reikalavimus.

Techninės specifikacijos

Programos

VETEK Porous TaC padengtas grafito žiedas pirmiausia naudojamas:

• SiC monokristalų augimas per PVT
• Trečiosios kartos puslaidininkių gamyba
• SiC substrato gamyba
• Šiluminio lauko sistemos kristalų auginimo krosnyse
• Aukštos temperatūros puslaidininkių apdorojimas
• Pažangūs grafito karštųjų zonų komponentai

DUK

1. Kas yra akytasis TaC padengtas grafito žiedas?

Tai šiluminio lauko komponentas, skirtas SiC kristalų auginimo krosnims. Jis sujungia porėtą grafito struktūrą su CVD TaC danga, kad užtikrintų šilumos valdymą ir apsaugą nuo korozijos aukštoje temperatūroje.

2. Kodėl SiC kristalams auginti naudoti TaC dangą?

TaC užtikrina stabilumą aukštoje temperatūroje ir cheminį atsparumą. Jis apsaugo grafitą nuo silicio garų atakos ir padeda palaikyti švarią, stabilią augimo aplinką.

3. Ką siūlo porėta grafito struktūra?

Porėta konstrukcija palaiko šilumos paskirstymą ir dujų transportavimą krosnyje, o tai prisideda prie stabilių SiC kristalų augimo sąlygų.

4. Ar VETEK gali gaminti pritaikytus TaC dengtus grafito žiedus?

Taip. VETEK siūlo pritaikymą pagal klientų brėžinius, krosnies projektus ir proceso poreikius, įskaitant matmenis, pagrindo konfigūraciją ir dangos parametrus.