TAC padengtas grafito kreipiamojo žiedas

TAC (tantalum karbidas) padengtas grafito kreipiamojo žiedas yra kritinis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamyboje, ypač tokiuose procesuose kaip epitaksinis nusėdimas ir plazmos ėsdinimas. Šie žiedai yra skirti saugiai laikyti ir išdėstyti silicio vaflius, užtikrinančius tikslų suderinimą ir stabilumą aukštos temperatūros ir atšiaurios cheminės aplinkos metu. Mūsų gidų žiedai yra sukurti siekiant patenkinti griežtus šiuolaikinio puslaidininkių gamybos poreikius, padedančius pagerinti proceso pajamingumą ir vaflių kokybę.

Medžiagos sudėtis ir fizinės savybės

Mūsų TAC padengto grafito kreipiamojo žiedo šerdis yra didelio grynumo grafito žiedas, kuris vėliau padengtas tantalo karbido (TAC) sluoksniu.

Grafito substratas:

Grafitas suteikia keletą pagrindinių pranašumų. Jis turi puikų šiluminį stabilumą, priešindamasi deformacijai aukštoje temperatūroje, būdingoje puslaidininkių apdorojime. Jo lengvas pobūdis sumažina šiluminę masę, leidžiančią greitai kaitinti ir vėsinti. Didelio grynumo grafitas taip pat neleidžia užteršti proceso kameros.

CVD TAC danga:

„Tantalum“ karbido danga yra raktas į aukštesnį žiedo našumą. TAC yra ypač kieta keraminė medžiaga, siūlanti išskirtinį atsparumą dilimui ir cheminį inertiškumą. Jis apsaugo pagrindinį grafitą nuo agresyvios plazmos ir ėsdinančias dujas, žymiai pratęsdamas žiedo gyvenimo trukmę. Ši danga taip pat neleidžia dalelėms išsiskirti, o tai yra labai svarbi norint išlaikyti švarų proceso aplinką ir užkertant kelią vaflinio paviršiaus defektams.

Vadovinių žiedų vaidmuo atliekant vaflių apdorojimą

Mūsų TAC padengtas kreipiamojo žiedas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį užtikrinant puslaidininkių gamybos kokybę ir efektyvumą.

● Vaflių suderinimas ir stabilumas: Epitaksinio augimo ar ėsdinimo metu, kreipiamojo žiedo vaflis yra tikslioje padėtyje. Tai neleidžia vafliui perjungti, o tai yra būtina vienodam sluoksnio nusėdimui ir tikslaus modelio perdavimui per visą vaflių paviršių.

● Šilumos valdymas: Grafito ir tantalum karbido dangos šiluminės savybės leidžia efektyviai paskirstyti šilumą ir valdyti. Tai labai svarbu palaikyti vienodą temperatūros profilį visame vaflyje, kuris yra būtinas nuosekliam plėvelės storiui ir medžiagų savybėms.

● Užteršimo kontrolė: Didelio grynumo medžiagos ir patvari TAC danga sumažina dalelių generavimą ir išvengimą. Tai sumažina vaflių užteršimo ir defektų riziką, todėl padidėja prietaiso išeiga ir patikimumas.

● Išplėstinė komponento gyvenimo trukmė: Tvirta tantalo karbido danga suteikia puikų atsparumą plazmos erozijai ir cheminei atakai. Tai prailgina vadovo žiedo eksploatavimo laiką, sumažinant priežiūros prastovą ir sumažinant bendrą nuosavybės sąnaudas.