01-05 VETEK | Kietojo SiC taikymo ribos ir atrankos taškai ėsdinimo ir didelio grynumo scenarijuose

Kietasis SiC nėra „brangesnis dangos pakaitalas“, o dar vienas techninis kelias be sąsajos, atsparus plazmai ir itin ilgaamžiams scenarijams. Šiame straipsnyje paaiškinamos jo taikymo ribos ėsdinant ir didelio grynumo naudojimas, TCO palyginimas su padengtu grafitu ir įvedimo patikros taškai.

Kai linija pakartotinai mato dangos išsisluoksniavimą arba dalelių lipimą ant fokusavimo žiedų ir panašių vietų, problema dažnai yra ne tik „nepakankamas valymas“ arba „bloga dalis“, bet ir tai, ar medžiagos forma atitinka plazmos aplinką.

1. Kodėl dažniau pasirenkamos svarbios oforto dalysKietas SiC?

Pagrindinė išvada:Plazma yra nedraugiška dangos ir substrato sąsajai. Kietasis SiC yra tūrinis β-SiC, neturintis dangos sąsajos, pašalinantis delaminacijos tipo dalelių šaltinius pagal struktūrą; jis taip pat labiau atsparus plazmos erozijai ir tinka svarbioms dalims, pvz., fokusavimo žiedams, kurie yra tiesiogiai veikiami plazmos.

Epitaksijos karštosiose zonose padengtas grafitas išlieka pagrindinis; ėsdinimo kamerose sąsajos ir erozijos mechanizmai skiriasi, todėl medžiagų parinkimo logika turi keistis kartu su jais.

Struktūriniai ir paslaugų skirtumai

• Padengtas grafitas: turi dangos ir grafito sąsają; ilgalaikis plazmos ar terminis įtempimas kelia delaminacijos riziką

• Kietas SiC: birumas yra SiC; nėra sąsajos delaminacijos kelio; grynumas gali siekti 5N–7N

• Tipiškas pritaikymas: fokusavimo žiedas, kai kurios dušo galvutės ir kameros dalys, kurioms keliami labai dideli dalelių ir eksploatavimo trukmės reikalavimai

2. Kaip palyginti kietojo SiC ir padengto grafito TCO?

Pagrindinė išvada:Nelyginkite vien pirkimo vieneto kainos. Po sulankstymo pakeitimo ciklo, prastovų ir dalelių išeigos sumažėjimo į sąnaudas už paleidimą arba plokštelę, kietasis SiC dažnai yra palankesnis didelės apkrovos ėsdinimo vietose; ant švelnios epitaksijos padėklų padengtas grafitas dažniausiai išlieka geresnis balansas.

TCO palyginimas turėtų apimti bent: dalių kainą, numatomą eksploatavimo laiką (valandas arba valandas), planuojamą prastovą, neplanuotas su dalelėmis susijusias prastovos, laužą ir logistiką.

Trumpas palyginimas

Lentelėje pateikti bendri inžineriniai sprendimai; konkretūs skaičiai turi būti apskaičiuojami pagal įrenginio eksploatavimo laiką ir prastovų sąnaudas.

3. Ką reikėtų patikrinti pristatantKietas SiC?

Pagrindinė išvada:Pirmiausia patvirtinkite matmenų ir šiluminę / elektrinę atitiktį, tada patikrinkite daleles, ėsdinimo vienodumą ir tikrąjį tarnavimo laiką mažoje partijoje ir tik tada atlikite pirkimą. Neleiskite „aukštesnės kokybės medžiagai“ pakeisti įrankio duomenų.

Rekomenduojama patvirtinimo seka:

1. Brėžinys/originalūs matmenys atitinka kamerą; leistinos nuokrypos leidžia įdiegti.

2. Grynumas ir paviršiaus būklė atitinka augalų specifikacijas (gali būti reikalaujama ataskaitų).

3. Mažos partijos įtaisytas įrankis: dalelės, kritiniai proceso lango matmenys, keitimo ciklas.

4. Palyginkite tomis pačiomis sąlygomis su esamu dangos sprendimu, tada nustatykite jungiklio apimtį.

4. Atvejo tyrimas: kietojo SiC įvadas, skatinamas fokusavimo žiedo dangos delaminacija

Pagrindinė išvada:Kai gedimo būdas yra dangos sąsajos nusluoksniavimas, o ne paprastas paviršiaus nusodinimas, dažnesnis valymas arba partijos keitimas dažnai pašalina tik simptomus. Kietojo SiC įvertinimas vietose, kurios tiesiogiai veikia plazmą, gali struktūriškai sumažinti delaminacijos kelią.

Inžinerinė pastaba:

Ech line ilgą laiką naudojo dengtus grafito fokusavimo žiedus. Dalelės pakartotinai pakilo gyvenimo viduryje ir pabaigoje; Priežiūra pirmiausia buvo atlikta valymu ir partijos keitimu – veiksmingi trumpalaikiai, bet vis trumpesni ciklai. Nepavykusi dalių analizė parodė vietinį dangos išsisluoksniavimą ir sąsajos poveikį, labai sutampančią su tiesiogine plazmos zona, nevienodą paviršiaus nuosėdų užteršimą. Tada linija buvo pristatytaKietas SiCtų pačių matmenų pavyzdžiai. Mažų partijų palyginimas parodė: taikant tą patį procesą, dalelės buvo stabilesnės, o pakeitimo ciklai aiškiai ilgesni; vieneto kaina buvo didesnė, tačiau sąnaudos už važiavimą sumažėjo, įvertinus prastovą ir derliaus praradimą. Sprendimo taškas buvo ne „kietasis SiC visada geresnis“, o tai, kad gedimo režimas jau nurodė sąsają – daugiau valant dangos kelią negalėjo pašalinti pagrindinės priežasties. Šis atvejis rodo: pasirinkite Solid SiC, kai gedimo mechanizmas atitinka jo be sąsajos ir atsparumo plazmai pranašumus; pirmiausia analizuokite, o tada perjunkite – patikimiau, nei pirmiausia perjungti ir paaiškinti vėliau.

5. DUK

1. Ar epitaksiniai susceptoriai taip pat turėtų persikelti įKietas SiC?

Daugeliu atvejų ne. Epitaxy karštosios zonos vertina šiluminį atsaką ir kainuoja daugiau; didelio grynumo grafito + CVD SiC/TaC danga išlieka pagrindinė. Kietajam SiC teikiama pirmenybė ėsdinimo ir kitoms sąsajoms bei plazmai jautrioms padėtyse.

2. Ar kietojo SiC tarnavimo laikas visada gali siekti 2000 valandų?

Tai yra etaloninė dydžio tvarka pagal tinkamus procesus. Tikrieji rezultatai priklauso nuo plazmos sąlygų, dujų ir priežiūros strategijos ir turi atitikti gamyklos patikrinimą.

3. Ar dengtą grafitą galima pakeisti kietuoju SiC santykiu 1:1?

Matmenys dažnai gali būti pritaikyti pagal originalią dalį arba brėžinį, tačiau skiriasi medžiaga ir šiluminė / elektrinė elgsena. Būtinas patikrinimas naudojant įrankį; nemanykite, kad proceso langas nepasikeitė.

4. Kaip įtikinti pirkimą priimti didesnę vieneto kainą?

Naudokite tos pačios būklės palyginimo duomenis: pakeitimo ciklą, daleles, prastovų skaičių – apskaičiuokite vienos serijos arba plokštelės kainą, o ne vien vieneto kainą.

5. Kaip šis puslapis veikia su atrankos-sprendimo grupės puslapiu?

2 klasterio puslapyje pateikiama bendra SiC/TaC/Solid SiC struktūra; Šiame puslapyje išsamiai aprašomos kietojo SiC ribos ir tikrinimo kelias ėsdinimo ir didelio grynumo scenarijuose. Naudokite juos kartu.

6. Santrauka ir tolesni žingsniai

Kietojo SiC vertė nėra sąsaja ir atsparumas plazmai – tai nėra bendras „aukštesnis“. Kai gedimo režimas rodo dangos išsisluoksniavimą arba trumpą ėsdinimo padėties eksploatavimo laiką, verta įtraukti į parinktis atliekant mažos partijos patikrą; Kai scenarijus išlieka įprasta epitaksijos karštoji zona, padengtas grafitas dažnai vis dar yra geresnis atsakymas.

Jei reikia įvertinti, ar tokios pozicijos kaip fokusavimo žiedai yra tinkamos kietojo SiC įvedimui, kviečiame susisiekti su VeTek technine komanda. Dr. Xiao ir inžinierių komanda gali padėti suderinti matmenis, patikrinti pavyzdžius ir aptarti TCO.

Norėdami sužinoti bendrą atrankos sistemą, žr.Kaip pasirinkti SiC dangą, TaC dangą arba kietą SiC pagal proceso sąlygas; Visą sistemą rasite ramsčio puslapyje01 CVD SiC, TaC ir kietojo SiC veikimo ribos epitaksijos ir ėsdinimo procesuose.

Pagrindinės nuorodos ir duomenų šaltiniai

1. VeTek Semiconductor vidinė inžinerija ir etch-kliento taikymo praktika.

2. Ribinės pastabos dėl kietojo SiC ir dangų tirpalų CVD dangos eksploatacinių medžiagų pasirinkimo inžinerijos vadove puslaidininkių epitaksijos ir ėsdinimo įrangai.

3. Oficialios VeTek svetainės gaminys ir techninės medžiagos: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

Pastaba: tekste pateikti eksploatavimo trukmės ir TCO skaičiai yra tipinės inžinerinės nuorodos; faktinės vertės atitinka gamyklos patikrą ir sąnaudų apskaičiavimą.

Autorius: „VeTek Semiconductor Technical Engineering Team“ (baigta vadovaujant dr. Xiao)

Dėl tolesnės techninės diskusijos ar pavyzdžio įvertinimo susisiekite su mumis oficialioje svetainėje.