Aukšto grynumo kvarco ėsdinimo žiedas

1.Pagrindinės savybės ir pranašumai

• Puslaidininkinis dehidroksilintas lydytas kvarcas su SiO₂ ≥ 99,999% ir griežtai kontroliuojamomis metalinėmis priemaišomis

• Stabilus nepertraukiamas veikimas iki 1100 °C, trumpalaikis pajėgumas beveik 1200 °C

• Stiprus atsparumas fluoro ir chloro pagrindu veikiančioms ėsdinimo cheminėms medžiagoms ir didelės energijos plazmos poveikiui

• Mažas šiluminis plėtimasis ir geras šiluminio smūgio veikimas kartojant kameros temperatūros ciklus

• Mažas vakuuminis dujų išleidimas, siekiant apsaugoti kameros pagrindo slėgį ir proceso dujų sudėtį

• Mikronų lygmens matmenų valdymas su poliruotais kontaktiniais paviršiais užtikrina nuoseklų kameros pritaikymą ir plazmos ribų apibrėžimą

• Konfigūruojamas dizainas: plokšti žiedai, pakopiniai ėsdinimo žiedai, vietos nustatymo / fiksavimo žiedai ir visiškai pritaikyti profiliai pagrindinėms ėsdinimo įrankių platformoms

2.Tipinės programos

Didelio grynumo kvarciniai ėsdinimo žiedai naudojami sauso plazminio ėsdinimo proceso kamerose:

• Loginio ir atminties įrenginio plazminio ėsdinimo žingsniai

• SiC ir GaN maitinimo įrenginio ėsdinimo procesai

• Didelio formato santykio struktūra etch

• Optinis ir sudėtinis-puslaidininkinis substrato plazminis apdorojimas

• Pažangus pakuotės plazminis ėsdinimas ir susiję valymo veiksmai

• RIE / ICP laboratorijos ir gamybos ėsdinimo įrankiai

3.Pagrindiniai techniniai parametrai

• Medžiaga: puslaidininkinis dehidroksilintas lydytas kvarcas, SiO₂ ≥ 99,999 %

• Suderinamumas su plokštelėmis: 2/4/6/8/12 colių silicio, SiC, GaN ir safyro

• Darbinė temperatūra: –20 °C iki 1100 °C nuolatinė; trumpalaikė smailė maždaug 1200 °C

• Pagrindinės funkcijos: plazmos kraštų uždarymas, dujų srauto valdymas, krašto apsauga ir kameros izoliacija

• Apdirbimo kokybė: mikronų lygio leistinos nuokrypos, poliruoti paviršiai, kontroliuojami kraštai ir švari apdaila

• Struktūros parinktys: plokščias žiedas, laiptuotas ėsdinimo žiedas, vietos nustatymo / atraminis žiedas ir pritaikytos geometrijos

• Pritaikymas: išorinis / vidinis skersmuo, storis, žingsnio aukštis, vietos nustatymo ypatybės, nuožulniai ir sąsajos detalės pagal brėžinį

4.Kodėl verta rinktis VeTek didelio grynumo kvarcinius ėsdinimo žiedus?

VeTek Semiconductor tiekia procesui svarbią kvarcinę įrangą, skirtą ėsdinimo ir terminiams įrankiams. Dėl ėsdinimo žiedų pagrindinis dėmesys skiriamas:

• Medžiagos grynumas ir paviršiaus švarumas tinka pažangioms sausojo ėsdinimo aplinkoms

• Matmenų tikslumas, kuris palaiko stabilų plazmos ribų valdymą ir pakartojamą kameros pritaikymą

• Dizaino lankstumas OEM stiliaus pakeitimui ir visiškai pritaikytoms kameros sąsajoms

• Visas kvarco komponentų asortimentas, kuriame taip pat yra plokštelių laikikliai, krosnių vamzdžiai, valtys ir susijusios proceso dalys

Derindami aukštą grynumą, plazmos ilgaamžiškumą ir griežtą geometrijos kontrolę, VeTek didelio grynumo kvarciniai ėsdinimo žiedai padeda pagerinti skersinio ėsdinimo plokščių vienodumą, sumažinti su kraštais susijusius defektus ir palaikyti ilgesnius, stabilesnius sauso plazmos ėsdinimo įrankių gamybos ciklus.