Sic ICP ėsdinimo plokštė

ICP ėsdinimo (induktyviai sujungto plazmos oforto) technologija yra tikslus puslaidininkių gamybos procesas, paprastai naudojamas aukšto tikslumo ir aukštos kokybės modelių perdavimui, ypač tinkamam gilių skylių ėsdinimui, mikrokaplavimo apdorojimui ir kt.

PusiauSiC ICP ėsdinimo plokštė yra specialiai sukurta ICP procesui, naudojant aukštos kokybės SiC medžiagas, ir gali užtikrinti puikų našumą aukštoje temperatūroje, stiprioje korozinėje ir aukštoje energijos aplinkoje. Kaip pagrindinis turėjimo ir palaikymo komponentas,ICP ETCHPlokštė užtikrina stabilumą ir efektyvumą ėsdinimo proceso metu.

Sic ICP ėsdinimo plokštėProdukto savybės

● Aukštos temperatūros tolerancija

SIC ICP ėsdinimo plokštelė gali atlaikyti temperatūros pokyčius iki 1600 ° C, užtikrinant stabilų naudojimą aukštos temperatūros ICP ėsdinimo aplinkoje ir išvengiant deformacijos ar veikimo skaidymo, kurį sukelia temperatūros svyravimai.

●  Puikus atsparumas korozijai

Silicio karbido medžiagagali efektyviai atsispirti labai ėsdinančioms cheminėms medžiagoms, tokioms kaip vandenilio fluoras, vandenilio chloridas, sieros rūgštis ir kt.

●  Žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas

SiC ICP ėsdinimo plokštelėje yra žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas, kuris gali išlaikyti gerą matmenų stabilumą aukštos temperatūros aplinkoje, sumažinti stresą ir deformaciją, kurią sukelia temperatūros pokyčiai, ir užtikrinti tikslų ėsdinimo procesą.

●  Aukštas kietumas ir atsparumas drabužiams

SIC kietumas yra iki 9 Mohs kietumo, kuris gali efektyviai užkirsti kelią mechaniniam susidėvėjimui, kuris gali atsirasti ėsdinimo proceso metu, prailginti tarnavimo laiką ir sumažinti pakaitinį dažnį.

● eXCELLENT šilumos laidumas

Puikus šilumos laidumas užtikrina, kadSic dėklasGali greitai išsklaidyti šilumą ėsdinimo proceso metu, išvengiant vietinės temperatūros padidėjimo, kurį sukelia šilumos kaupimasis, taip užtikrinant ėsdinimo proceso stabilumą ir vienodumą.

Palaikydamas stiprią techninę komandą, „Veteksemicon SIC ICP“ ėsdinimo dėklas baigė įvairius sunkius projektus ir teikia pritaikytus produktus pagal jūsų poreikius. Mes laukiame jūsų užklausos.

Pagrindinės fizinės CVD SIC savybės: