CVD silicio karbidu (SiC) padengtas grafito RTP RTA nešiklis

Produkto savybės

· Pagrindinė įranga:Sukurta greitojo terminio atkaitinimo (RTA) ir greitojo terminio apdorojimo (RTP) sistemoms.

· Primary Ataikymas: Optimizuotas puslaidininkinių plokštelių atkaitinimo procesams.

· Opeįvertinimas Tetemperatūra:Stabilus veikimas nuo 200°C iki 700°C.

· Excellent TherMal vienodumas: Užtikrina tolygų šilumos pasiskirstymą nuosekliam plokštelių apdorojimui.

· Mažos dalelėsGgeneracija: Tanki CVD SiC danga sumažina užteršimą ir pagerina produkcijos išeigą.

· Puikus cheminis atsparumas:Atsparus oksidacijai ir korozinėms dujoms terminio apdorojimo metu.

· Išskirtinisg TermAtsparumas aljansui: Struktūrinis vientisumas išlaikomas kartojant greitus šildymo ir vėsinimo ciklus.

· Ilgas tarnavimo laikas:Dėvėjimui atspari SiC danga žymiai pailgina komponentų tarnavimo laiką ir sumažina priežiūros išlaidas.

· PasirinktinisGamyba:Galimi įvairių dydžių ir konfigūracijų, kad atitiktų skirtingą RTP/RTA įrangą.

Techninės specifikacijos

Programos

·Greitas terminis atkaitinimas (RTA)

· Greitas terminis apdorojimas (RTP)

· Silicio plokštelių atkaitinimas

· Priedo aktyvinimas

· Oksidacija

· Difuzija

·Sudėtinių puslaidininkių gamyba

·MEMS gamyba

·Galios puslaidininkių apdorojimas

DUK

1. Kas yra RTP/RTA vežėjas?

RTP/RTA Carrier yra plokštelių atraminis komponentas, naudojamas greito terminio apdorojimo ir greito terminio atkaitinimo sistemose. Jis saugiai laiko puslaidininkines plokšteles, užtikrindamas vienodą šilumos perdavimą viso terminio ciklo metu.

2. Kodėl pirmenybė teikiama CVD SiC dangai?

Palyginti su plika grafitu, CVD SiC danga pasižymi puikiu atsparumu oksidacijai, mažiau dalelių susidarymo, geresnį cheminį stabilumą ir žymiai ilgesnį tarnavimo laiką.

3. Ar VETEK gali teikti pritaikytus RTP/RTA nešiklius?

Taip. VETEK siūlo pritaikytus RTP/RTA laikiklius pagal klientų brėžinius.