Pramonės naujienos

Tarp turimų technologijų didelio atsparumo kaitinimo SiC kristalų auginimo krosnis pasirodė kaip esminis sprendimas gaminant didelio skersmens, mažo defekto SiC kristalus, kurių konsistencija ir efektyvumas yra geresnis. Šiame straipsnyje nagrinėjama, kaip ši technologija veikia, jos pranašumai, pritaikymas ir kodėl pramonės lyderiai pasitiki naujoviškais Veteksemi sprendimais.

SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas ASM, nėra tik pakaitinė dalis epitaksijos sistemoje. Tai procesui svarbus nešiklis, turintis įtakos šiluminiam vienodumui, plokštelių švarumui, dangos ilgaamžiškumui, kameros stabilumui ir ilgalaikėms gamybos sąnaudoms.

CVD TaC Coating Cover yra ne tik apsauginis dangtelis ar dengtas grafito komponentas. Aukštos temperatūros puslaidininkių procesuose jis gali turėti įtakos kameros švarumui, terminiam stabilumui, dalies eksploatavimo trukmei ir proceso nuoseklumui.