žinios

SiC ir GaN yra plataus dažnio juostos puslaidininkiai, turintys pranašumų, palyginti su siliciu, pvz., didesnę gedimo įtampą, didesnį perjungimo greitį ir didesnį efektyvumą. SiC yra geresnis aukštos įtampos ir didelės galios įrenginiuose dėl didesnio šilumos laidumo, o GaN puikiai tinka aukšto dažnio įrenginiuose dėl savo puikaus elektronų mobilumo.

Garinimas elektronų pluoštu yra labai efektyvus ir plačiai naudojamas dengimo būdas, palyginti su atspariniu šildymu, kai garinimo medžiaga šildoma elektronų pluoštu, todėl ji išgaruoja ir kondensuojasi į ploną plėvelę.

Vakuuminė danga apima plėvelės medžiagos garinimą, vakuuminį transportavimą ir ploną plėvelės augimą. Remiantis skirtingais plėvelės medžiagų garinimo metodais ir transportavimo procesais, vakuuminę datą galima suskirstyti į dvi kategorijas: PVD ir CVD.

Šiame straipsnyje aprašomi „VEKEK Semiconductor“ porėto grafito fiziniai parametrai ir produkto charakteristikos, taip pat jo specifiniai pritaikymai puslaidininkių apdorojime.