Silicio karbido sic vaflių valtis

„Veteksemicon SiC Wafer“ valtis yra pagrindinis nešiklis, skirtas specialiai aukštos temperatūros puslaidininkių procesams. Naudojant aukšto grynumo izostiškai paspaudusį grafitą kaip jo substratą, šis produktas naudoja patentuotą cheminio garų nusėdimo technologiją, kad susidarytų tanki, ne porų silicio karbido apsauginis sluoksnis ant paviršiaus.

Šis sluoksnis sklandžiai sujungia puikų grafito šilumos laidumą su išskirtiniu silicio karbido atsparumu korozijai. Griežtai kontroliuojama danga pasiekia 80–120 μm storią, veiksmingai priešinasi korozijai iš įvairių rūgščių ir šarminių atmosferų, reikšmingai sumažindama metalo užteršimo riziką. Jis palaiko struktūrinį stabilumą ir matmenų vientisumą net ir aukštos temperatūros aplinkoje, užtikrinant patikimą apsaugą ir palaikymą vafliams kritinių procesų metu, tokiuose kaip oksidacija, difuzija ir epitaksinis augimas, efektyviai išplečiant vaflių gyvenimo trukmę daugiau nei tris kartus didesnę nei įprastų grafito valčių.

Ⅰ. Techniniai parametrai

Ⅱ. „Veteksemicon SiC Wafer“ valties pagrindiniai pranašumai

• Puikus atsparumas korozijai

SiC danga ant „Veteksemicon Wafer“ valties nusodinta naudojant mūsų patentuotą aukštos temperatūros CVD procesą, todėl susidaro tanki, vienoda struktūra, kurioje visiškai nėra porų ir įtrūkimų. Šis kietas barjeras efektyviai išskiria vaflius iš krosnies aplinkos. Stiprios oksiduojančios atmosferos, fluorintų junginių ir kitų korozinių dujų yra nepralaidūs šiam apsauginiam sluoksniui. Tai reiškia, kad jūsų vafliai yra apsaugoti nuo užteršimo, o pati valtis išlieka nepažeista per pakartotinius ekstremalius procesus, žymiai prailgindamos savo tarnavimo laiką.

• Ypač aukštos grynumo medžiagos

Mes suprantame, kad net menkiausias užterštumas gali padaryti visą vaflių partiją nenaudinga. Todėl „Veteksemicon“ griežtai kontroliuoja žaliavas, naudodamas importuotą izostatiškai paspaustą grafitą, kurio grynumas viršija 99.9995% kaip substratą. Ant šio substrato nusėdusi SiC danga taip pat pasiekia 99,999% grynumo, o kritinės priemaišos, tokios kaip natris, kalis, geležis ir sunkieji metalai, laikomi labai žemai (PPB). Šis beveik vidinis grynumas užtikrina, kad jokie teršalai nebus išsiskiriantys aukštoje temperatūroje, iš esmės pašalinant prietaiso veikimo pablogėjimo riziką dėl su nešikliu susijusių problemų.

• Puikus šiluminis stabilumas

Puslaidininkių gamybai reikalingi ypač nuoseklūs šiluminiai procesai. „Veteksemicon“ vaflių valties šiluminio plėtimosi koeficientas yra kruopščiai suprojektuotas taip, kad būtų galima tiksliai suderinti silicio plokštelių. Greito šildymo ir vėsinimo metu valtis ir vafliai juda sinchroniškai, žymiai sumažinant grotelių defektų riziką ir metmenį, kurį sukelia šiluminis stresas. Jis gali atlaikyti nuolatinę veikimo temperatūrą iki 1600 ℃, išlaikant puikų mechaninį stiprumą ir matmenų stabilumą net esant šioms aukštoms temperatūroms. Tai užtikrina pakartojamumą ir patikimumą kiekviename proceso metu, suteikiant tvirtą pagrindą tolerancijos valdymui mikroschemų gamyboje.

• Patvarus mechaninis stiprumas

Mūsų produktų vertė yra ne tik pradinės investicijos, bet ir ilgalaikės nuosavybės išlaidos. Palyginti su tradiciniais kvarco ar grafito komponentais, „Veteksemicon“ sic vaflių valtys siūlo išskirtinį atsparumą susidėvėjimui ir smūgiui. Jų aukštas paviršiaus kietumas prieštarauja įbrėžimams ir šiukšlėms tvarkant ir valant. Šis tvirtumas suteikia jiems galimybę lengvai atlaikyti daugiau nei 200 aukštos temperatūros procesų ciklų ir būtinų valymo procedūrų, žymiai sumažinant viešųjų pirkimų išlaidas, atsargų sąnaudas ir įrangos prastovas, susijusius su dažnu komponentų pakeitimu.

• Ekologinės grandinės patikrinimo patvirtinimas

„Veteksemicon SiC Wafer Boat“ ekologinės grandinės patikrinimas apima žaliavų gamybą, ji priėmė tarptautinį standartinį sertifikatą ir turi keletą patentuotų technologijų, kad būtų užtikrintas jos patikimumas ir tvarumas puslaidininkių ir naujų energetikos srityse.

Ⅲ. Pagrindiniai taikymo laukai

Norėdami gauti išsamias technines specifikacijas, baltuosius dokumentus ar mėginių testavimo priemones, susisiekite su mūsų techninės pagalbos komanda ir išsiaiškinkite, kaip „Veteksemicon“ gali padidinti jūsų proceso efektyvumą.

„Veteksemicon Products Warehouse“