Pramonės naujienos

„Quartz“ valtis yra pagrindinis krovinio laikantis komponentas, naudojamas puslaidininkių gamybos procese. Jis daugiausia naudojamas vaflių, tokių kaip difuzija, oksidacija ir atkaitinimas, apdorojant aukštą temperatūrą. Dėl puikaus šiluminio stabilumo, mažos taršos charakteristikos ir atsparumas korozijai daro jį nepakeičiama medžiaga puslaidininkių pramonėje. Šiame straipsnyje bus aprašyta medžiaga, fizinės savybės, klasifikacija, kvarco valties taikymo scenarijai ir jos skirtumai nuo PECVD grafito valties.

Pagrindinė PECVD grafito valties medžiaga yra didelio grynumo izotropinė grafito medžiaga (grynumas paprastai yra ≥99,999%), kuri turi puikų elektrinį laidumą, šilumos laidumą ir tankį. Palyginti su įprastais grafito valtimis, „PECVD“ grafito valtys turi daug fizinių ir cheminių savybių pranašumų ir daugiausia naudojami puslaidininkių ir fotoelektros pramonėje, ypač PECVD ir CVD procesuose.

MOCVD grafito dėklai vaidina svarbų vaidmenį epitaksiniame procese. Šiame straipsnyje pateikiama išsami MOCVD grafito dėklų pasirinkimo iš medžiagų savybių ir taikymo scenarijų perspektyvų analizė.