Pramonės naujienos

SIC keramika yra keraminė medžiaga, kurią sukelia silicio (SI) ir anglies (C) elementų reakcija, pasižyminti ypač dideliu kietumu, atsparumu šilumai ir cheminis stabilumas

Puslaidininkių gamybos aukštųjų akcijų pasaulyje tikslumas ir stabilumas yra viskas-ir būtent tada įeina elektrostatinis chuckas (ESC). Daug daugiau nei tik laikymo įrankis, ESC naudoja elektrostatines jėgas, kad saugiai spaustų vaflius, tokius kaip ėsdinimas, nusėdimas ir jonų implantacija. Bet kaip tai iš tikrųjų veikia? Kodėl jis pranašesnis už tradicinį mechaninį užsegimą? O kokį vaidmenį jis vaidina siekiant nanoskalės tikslumo ir pralaidumo efektyvumo? Sveiki atvykę į skaitymą.

Elektrostatinio griebtuvo principas „Dechuck“ yra pagrindinė jo darbo eigos dalis, apimanti elektrostatinės jėgos pašalinimo ir vaflinių išleidimo mechanizmus.