Pramonės naujienos

Elektrostatinis chuckas (ESC), dar žinomas kaip elektrostatinis chuck (ESC, E-Chuck), yra armatūra, kuri naudoja elektrostatinės adsorbcijos principą, kad būtų laikomas ir pritvirtindamas adsorbuotą medžiagą. Jis tinka vakuume ir plazmoje.

SiC vaflių laikikliai, kaip pagrindinės eksploatacinės medžiagos trečiosios kartos puslaidininkių pramonės grandinėje, jų techninės savybės daro tiesioginę įtaką epitaksinio augimo ir prietaisų gamybos derliui. Dėl didėjančios aukštos įtampos ir aukštos temperatūros prietaisų paklausos pramonės šakose, tokiose kaip 5G bazinės stotys ir naujos energetinės transporto priemonės, SIC vaflių vežėjų tyrimai ir taikymas dabar susiduria su didelėmis plėtros galimybėmis.

Aliuminio oksido keramika yra „darbo arklys“ keraminių komponentų gamybai. Jie pasižymi puikiomis mechaninėmis savybėmis, ypač aukštais lydymosi taškais ir kietumu, atsparumu korozijai, stiprų cheminį stabilumą, didelę varžą ir puikią elektrinę izoliaciją. Jie dažniausiai naudojami poliravimo plokštelėms, vakuuminiams griebtuvams, keraminėms rankoms ir panašioms dalims gaminti.