Pramonės naujienos

Šiame straipsnyje daugiausia pristatomi produktų tipai, produktų charakteristikos ir pagrindinės MOCVD suvokimo funkcijos, apdorojant puslaidininkį, ir atlieka išsamią „Mocvd“ suvokimo produktų analizę ir aiškinimą.

SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas ASM, nėra tik pakaitinė dalis epitaksijos sistemoje. Tai procesui svarbus nešiklis, turintis įtakos šiluminiam vienodumui, plokštelių švarumui, dangos ilgaamžiškumui, kameros stabilumui ir ilgalaikėms gamybos sąnaudoms.

CVD TaC Coating Cover yra ne tik apsauginis dangtelis ar dengtas grafito komponentas. Aukštos temperatūros puslaidininkių procesuose jis gali turėti įtakos kameros švarumui, terminiam stabilumui, dalies eksploatavimo trukmei ir proceso nuoseklumui.

Gaminant PECVD, daugelis dengimo ir nusodinimo problemų prasideda ne nuo plazmos galios ar dujų chemijos. Jie prasideda nuo laikiklio, kuriame laikomos plokštelės.

Tinkamo puslaidininkinio kvarcinio tiglio pasirinkimas nėra smulkmena perkant. Tai tiesiogiai veikia lydalo švarumą, terminį stabilumą, kristalų traukimo konsistenciją, derlingumo kontrolę ir visos augimo linijos aptarnavimo ritmą.

Didelio grynumo grafito milteliai tapo svarbia medžiaga puslaidininkių gamyboje, fotovoltinės energijos gamyboje, pažangioje keramikoje ir aukštos temperatūros pramoniniuose procesuose. Bet kas tiksliai apibrėžia didelio grynumo grafito miltelius ir kodėl sudėtingose ​​aplinkose jie pranoksta standartines grafito medžiagas?