Kieto SiC fokusavimo žiedai

1. Produkto savybės

● Grynumas (GDMS patvirtintas): > 99,99995 % (iki 6N-7N) | Apsaugo kamerą nuo metalo pėdsakų.

● Struktūrinis tvirtumas: ≥3,21 g/cm3 | Pasiekia teorinį tankį; nepalieka tuštumų dujų išmetimui ar mikrodalelių, kurias būtų galima paslėpti.

● Šiluminis reguliavimas: 200 - 300W/m·K | Greitai paskirsto šilumą, kad vaflio ratlankio temperatūra būtų idealiai vienoda.

● Elektrinis diapazonas: 0,01 - 10 Ωcm | Pritaikoma varža stabilizuoti plazmos apvalkalą ir patobulinti RF ryšį. Paviršiaus standumas: ≥2500 HV | Atsparus abrazyviniam nusidėvėjimui nuolatinio sauso ėsdinimo ciklų metu.

2. Programosl 

● Pažangus proceso plazminis ėsdinimas

● Plonosios plėvelės nusodinimo procesai (PECVD / ALD)

● Kieto SiC ėsdinimo žiedai yra pagrindinės eksploatacinės medžiagos pažangioje lustų gamyboje, naudojamos siekiant užtikrinti plokščių kraštų procesų vienodumą, pagerinti išeigą ir pailginti komponentų tarnavimo laiką plazminio ėsdinimo ir nusodinimo procesuose.

3. Fab pažeidžiamumo sprendimas

● Problema: brangus neveikimo laikas dėl greitos dalių erozijos

Pataisymas:  Vetek CVD išaugintos struktūros erozijos tempas yra 10–20 kartų lėtesnis nei kvarco ir 3–5 kartus lėtesnis nei masinio silicio. Audiniai turi ilgesnį gamybos etapą ir daug mažiau avarinių kamerų ventiliacijos angų.

● Problema: krašto derliaus sutraukimas (krašto efektas)

Pataisymas: lėtas, nuspėjamas žiedo paviršiaus nusidėvėjimas neleidžia plazminiam apvalkalui laikui bėgant pasislinkti. Taip išlaikomos griežtos kritinio matmens (CD) ribos ties plokštelės perimetru.

● Problema: sukepintų dalių išsiliejimo defektai

Pataisymas: mūsų dujų fazės sintezė nepalieka jokių grūdėtumo ribinių rišiklių ar metalinių užpildų. Be šių silpnų vietų žiedas nesusisluoksniuos ir nesukels mikromaskavimo defektų plokštelės paviršiuje.

4. Pritaikytas inžinerinis palaikymas

● Įrankių integravimas: pritaikytas pagal užsakymą, kad atitiktų griežtas pasaulinių eterinių prekių ženklų, pvz., Lam, AMAT ir TEL, tarpų specifikacijas.

● Atsparumo atitikimas: sureguliuojame kiekvienos partijos elektrinį profilį, kad jis puikiai atitiktų jūsų konkrečius recepto parametrus.

● Išplėstinė apdaila: naudojama itin švari cheminė mechaninė planarizacija (CMP), kad išlygintų grubius paviršius ir sumažintų dalelių skaičių ankstyvo įrankio prieskonių metu.

● Sudėtingi formos faktoriai: laikomės griežtų leistinų nuokrypių (± 0,01 mm) sudėtingiems, daugiapakopiams krašto žiedams ir sujungiamiesiems žiedams.

„Vetek“ puslaidininkių sandėlis: