Fokusavimo žiedas ėsdinimui

Monokristaliniai silicio ėsdinimo žiedai yra pagrindiniai puslaidininkių ėsdinimo procesų komponentai, palaikant plazmos aplinkos stabilumą, apsaugant įrangą ir vaflius, optimizuodami išteklių panaudojimą ir pritaikant pažangių procesų reikalavimus. Jos našumas tiesiogiai veikia lustų gamybos pajamingumą ir sąnaudas.

Išdominto fokusavimo žiedas, elektrodas ir kt. (Krašto temperatūros valdiklis) yra pagrindinės eksploatacinės medžiagos, užtikrinančios plazmos vienodumą, temperatūros valdymą ir proceso pakartojamumą. Šie komponentai yra tiksliai surinkti CVD vakuume, ėsdinimo ir plėvelės įrangoje ir tiesiogiai nustato ėsdinimo tikslumą ir išeigą nuo krašto iki vaflinio centro.

Reaguodamas į griežtą medžiagų savybių paklausą aukščiausios klasės gamybos procesuose, „Veteksemi“ diegia naujoves, naudodamas aukšto grynumo monokristalinį silicį, kurio varža yra 10-20Ω · cm, kad būtų galima gaminti fokusavimo žiedus ir remti eksploatacines medžiagas. Bendradarbiaudamas su medžiagų mokslo, elektros projektavimo ir termodinamikos optimizavimu, „Veteksemi“ sugeba gaminti fokusavimo žiedus ir paremti eksploatacines medžiagas. Visapusiškai pranoksta tradicinius kvarco sprendimus, kad būtų pasiektas proveržis ilgaamžiškumo, tikslumo ir ekonominio efektyvumo pagerėjimas.

Pagrindinių medžiagų palyginimas ir atsparumo optimizavimas

Monokristalinio silicio Vs. Kvarcas

Produkto pagrindinis pranašumase

1. Atominio lygio proceso tikslumas

Atsparumo optimizavimas + ultravioletinis poliravimas (RA <0,1 μm) pašalina mikrokromo ir dalelių užteršimą, kad atitiktų pusiau F47 standartus.

Dielektrinis nuostolis (TANδ <0,001) yra labai suderintas su vaflinių dielektrinių aplinka, išvengiant krašto elektrinio lauko iškraipymo ir palaikant 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° vertikalios giliųjų skylių ėsdinimą.

2. Intelektuali sistemos suderinamumas

Integruotas su ETC krašto temperatūros valdymo moduliu, aušinimo oro srautas yra dinamiškai sureguliuotas termoelemento ir AI algoritmu, kad būtų kompensuotas kameros šiluminis dreifas.

Palaikykite pritaikytą RF atitikimo tinklą, tinkantį pagrindinėms mašinoms, tokioms kaip „Amat Centura“, „Lam Research Kiyo“ ir ICP/CCP plazmos šaltiniai.

3. Išsamus ekonominis efektyvumas

Monokristalinio silicio tarnavimo laikas yra 275% ilgesnis nei kvarco, priežiūros ciklas yra daugiau nei 3000 valandų, o bendros nuosavybės išlaidos (TCO) sumažėja 30%.

Atsparumo gradiento pritaikymo paslauga (5-100Ω · cm), tiksliai suderinant klientų proceso langą (pvz., GAN/SIC plačiajuosčio juostos tarpo medžiagos ėsdinimą).

Atsparumo poveikis

Produkto komercinės sąlygos

Minimalus užsakymo kiekis	1 rinkinys
Kaina	Kreipkitės į pritaikytą citatą
Informacija apie pakuotės	Standartinis eksporto paketas
Pristatymo laikas	Pristatymo laikas: 30–35 dienos po užsakymo patvirtinimo
Mokėjimo sąlygos	T/t
Tiekimo galimybės	600 rinkinių per mėnesį