MOCVD epitaksinis vaflis teikia

„MOCVD“ epitaksinis vaflių suvokėjas yra aukštos kokybės epitaksinis vaflių jautrininkas, skirtas MOCVD (metalo-organinio cheminio garų nusėdimo) įrangai. Sąmonė yra pagaminta iš SGL grafito medžiagos ir padengtas silicio karbido danga, kuri sujungia aukštą grafito šilumos laidumą su puikia SIC aukšta temperatūra ir atsparumu korozijai, ir yra tinkamas atšiauriam aukštos temperatūros, aukšto slėgio ir korozinių dujų darbo aplinkai, esant epitaksiniam pusdultininkų augimui.

SGL grafito medžiaga turi puikų šilumos laidumą, o tai užtikrina, kad epitaksinio vaflio temperatūra augimo proceso metu tolygiai pasiskirsto ir pagerina epitaksinio sluoksnio kokybę. Dengta SIC danga leidžia suvokėjui atlaikyti aukštą aukštą temperatūrą daugiau nei 1600 ℃ ir prisitaikyti prie ekstremalios šiluminės aplinkos MOCVD procese. Be to, SIC danga gali veiksmingai atsispirti aukštos temperatūros reakcijos dujoms ir cheminei korozijai, prailginti jautrininko tarnavimo laiką ir sumažinti taršą.

„Veteksemi“ MOCVD epitaksinis vaflių suvokėjas gali būti naudojamas kaip MOCVD įrangos tiekėjų, tokių kaip „Aixtron“, priedų pakaitalas.

● Dydis: Gali būti pritaikytas atsižvelgiant į klientų poreikius (turimas standartinis dydis).

● Keliamoji galia: Gali gabenti kelis ar dar daugiau nei 50 epitaksinių vaflių vienu metu (atsižvelgiant į jautrininko dydį).

● Paviršiaus apdorojimas: SiC danga, atsparumas korozijai, atsparumas oksidacijai.

● Puslaidininkių pramonė: Naudojamas epitaksinių plokštelių, tokių kaip šviesos diodai, lazeriniai diodai ir galios puslaidininkiai, augimui.

● Optoelektronikos pramonė: Palaiko epitaksinį aukštos kokybės optoelektroninių prietaisų augimą.

● Aukščiausios klasės medžiagų tyrimai ir plėtra: Taikoma epitaksiniam naujų puslaidininkių ir optoelektroninių medžiagų paruošimui.

Priklausomai nuo kliento MOCVD įrangos tipo ir gamybos poreikių, „Vetek Semiconductor“ teikia pritaikytas paslaugas, įskaitant jautrumo dydį, medžiagą, paviršiaus apdorojimą ir kt., Kad užtikrintų, kad klientams būtų pateiktas tinkamiausias sprendimas.

CVD SIC plėvelės kristalų struktūra

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės

IT puslaidininkis MOCVD epitaksialinės vaflinės „Streptor“ parduotuvės