žinios

Pagrindinė PECVD grafito valties medžiaga yra didelio grynumo izotropinė grafito medžiaga (grynumas paprastai yra ≥99,999%), kuri turi puikų elektrinį laidumą, šilumos laidumą ir tankį. Palyginti su įprastais grafito valtimis, „PECVD“ grafito valtys turi daug fizinių ir cheminių savybių pranašumų ir daugiausia naudojami puslaidininkių ir fotoelektros pramonėje, ypač PECVD ir CVD procesuose.

MOCVD grafito dėklai vaidina svarbų vaidmenį epitaksiniame procese. Šiame straipsnyje pateikiama išsami MOCVD grafito dėklų pasirinkimo iš medžiagų savybių ir taikymo scenarijų perspektyvų analizė.

Grafito medžiagos turi platų taikymo scenarijus. Tarp jų izotropinis grafitas ir silikonizuotas grafitas yra dvi pagrindinės skirtingos grafito medžiagų tipai, o jų charakteristikos, taikymo scenarijai ir pranašumai labai skiriasi. Šis tinklaraštis atliks lyginamąją analizę iš trijų aspektų: struktūrinės charakteristikos, taikymo scenarijai ir produkto pranašumai.

Silicio karbido keramika, paprastai žinoma kaip SiC keramika, yra universali medžiaga, turinti unikalias savybes ir įvairiose pramonės šakose. Toliau pateikiami išsami jos materialinės sudėties, fizinių savybių, specifinių pritaikymų ir privalumų aptarimas puslaidininkių dangos procesuose ir bendros problemos, su kuriomis susiduriama perdirbimo metu.