žinios

Elektrostatinis chuckas (ESC), dar žinomas kaip elektrostatinis chuck (ESC, E-Chuck), yra armatūra, kuri naudoja elektrostatinės adsorbcijos principą, kad būtų laikomas ir pritvirtindamas adsorbuotą medžiagą. Jis tinka vakuume ir plazmoje.

SiC vaflių laikikliai, kaip pagrindinės eksploatacinės medžiagos trečiosios kartos puslaidininkių pramonės grandinėje, jų techninės savybės daro tiesioginę įtaką epitaksinio augimo ir prietaisų gamybos derliui. Dėl didėjančios aukštos įtampos ir aukštos temperatūros prietaisų paklausos pramonės šakose, tokiose kaip 5G bazinės stotys ir naujos energetinės transporto priemonės, SIC vaflių vežėjų tyrimai ir taikymas dabar susiduria su didelėmis plėtros galimybėmis.

Aliuminio oksido keramika yra „darbo arklys“ keraminių komponentų gamybai. Jie pasižymi puikiomis mechaninėmis savybėmis, ypač aukštais lydymosi taškais ir kietumu, atsparumu korozijai, stiprų cheminį stabilumą, didelę varžą ir puikią elektrinę izoliaciją. Jie dažniausiai naudojami poliravimo plokštelėms, vakuuminiams griebtuvams, keraminėms rankoms ir panašioms dalims gaminti.

Puslaidininkių medžiagas galima suskirstyti į tris kartas chronologine tvarka. Pirmąją kartą sudaro įprastos elementinės medžiagos, tokios kaip germanis ir silicis, kurioms būdingas patogus perjungimas ir paprastai naudojamos integruotose grandinėse. Antrosios kartos junginiai puslaidininkiai, tokie kaip galio arsenidas ir indio fosfidas, daugiausia naudojami liuminescencinėse ir ryšių medžiagose.

„Quartz“ prietaisai vaidina svarbų vaidmenį gaminant saulės elementus, siūlančius išskirtinį šiluminį atsparumą, cheminį grynumą ir struktūrinį stabilumą, reikalingą aukštos temperatūros procesuose. Nuo kvarco difuzijos vamzdžių ir tiražų iki kvarco valčių ir krosnių komponentų šios didelės grynumo medžiagos yra būtinos norint pasiekti optimalų difuzijos, ŠKL ir šlapio ėsdinimo etapų efektyvumą.

TAC danga beveik visiškai pašalina anglies kapsuliavimo reiškinį, išskiriant tiesioginį kontaktą tarp grafito tiglio ir SiC lydalo, žymiai sumažindama mikrotubijų defektų tankį.