SiC dangos kolektorių centras

„Vetek“ puslaidininkių dengimo kolektorių centras vaidina svarbų vaidmenį gaminant puslaidininko EPI procesą. Tai yra vienas iš pagrindinių komponentų, naudojamų dujų paskirstymui ir valdymui epitaksinės reakcijos kameroje.SiC dangairTAC dangaMūsų gamykloje.

SIC dangos kolektorių centro vaidmuo yra toks:

● Dujų paskirstymas: SiC dangos kolektorių centras naudojamas įvairioms dujoms įvesti į epitaksinės reakcijos kamerą. Jis turi daugybę įleidimo angų ir išleidimo angų, galinčių paskirstyti skirtingas dujas į norimas vietas, kad patenkintų specifinius epitaksinio augimo poreikius.

● Valdymo dujos: „SiC“ dangos kolektorių centras pasiekia tikslų kiekvienos dujų valdymą per vožtuvus ir srauto valdymo įtaisus. Šis tikslus dujų kontrolė yra būtina siekiant sėkmės epitaksiniam augimo procesui, kad būtų pasiekta norima dujų koncentracija ir srauto greitis, užtikrinant plėvelės kokybę ir nuoseklumą.

● Vienodumas: Centrinio dujų surinkimo žiedo projektavimas ir išdėstymas padeda pasiekti vienodą dujų pasiskirstymą. Per pagrįstą dujų srauto kelią ir paskirstymo režimą dujos yra tolygiai sumaišytos epitaksinės reakcijos kameroje, kad būtų galima vienodai augti plėvelę.

Gaminant epitaksinius produktus, „SiC“ dengimo kolektorių centras vaidina pagrindinį vaidmenį plėvelės kokybe, storiu ir vienodumu. Tinkamai paskirstant dujas ir valdant, SIC dangos kolektorių centras gali užtikrinti stabilumą ir nuoseklumąEpitaksinis augimo procesas, kad gautumėte aukštos kokybės epitaksinius filmus.

Palyginti su grafito kolekcininkų centru, SIC padengtas kolektorių centras yra pagerintas šilumos laidumas, padidėjęs cheminis inertiškumas ir didesnis atsparumas korozijai. Silicio karbido danga žymiai pagerina grafito medžiagos šiluminio valdymo galimybes, sukeliančias geresnį temperatūros vienodumą ir pastovų plėvelės augimą epitaksiniuose procesuose. Be to, danga suteikia apsauginį sluoksnį, kuris atsparus cheminei korozijai, prailginanti grafito komponentų gyvenimo trukmę. Apskritai, TheSilicio karbidas padengtasGrafito medžiaga siūlo puikų šilumos laidumą, cheminį inertiškumą ir atsparumą korozijai, užtikrinant padidėjusį stabilumą ir aukštos kokybės plėvelės augimą epitaksiniuose procesuose.

CVD SIC plėvelės kristalų struktūra:

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės

IT puslaidininkisSiC dangos kolektorių centrasGamybos parduotuvė