Silicio karbido epitaksija

Aukštos kokybės silicio karbido epitaksijos paruošimas priklauso nuo pažangių technologijų ir įrangos bei įrangos priedų. Šiuo metu plačiausiai naudojamas silicio karbido epitaksijos augimo metodas yra cheminis garų nusėdimas (CVD). Jis turi tikslios epitaksialinio plėvelės storio ir dopingo koncentracijos, mažiau defektų, vidutinio augimo greičio, automatinio proceso valdymo ir kt. Privalumus ir yra patikima technologija, sėkmingai pritaikyta komerciškai.

Silicio karbido CVD epitaksija paprastai priima karštos sienos arba šiltos sienos CVD įrangą, kuri užtikrina, kad epitaksijos sluoksnio 4H kristalinė SIC tęsimas esant aukšto augimo temperatūros sąlygoms (1500–1700 ℃), karštos sienos arba šiltos sienos CVD po metų raidos, atsižvelgiant į raidos struktūrą, ir vertės struktūros raiškos struktūrą.

Yra trys pagrindiniai SIC epitaksialinės krosnies kokybės rodikliai: pirmasis yra epitaksinis augimo efektyvumas, įskaitant storio vienodumą, dopingo vienodumą, defektų greitį ir augimo greitį; Antrasis yra pati įrangos temperatūra, įskaitant kaitinimo/vėsinimo greitį, maksimalią temperatūrą, temperatūros vienodumą; Galiausiai pačios įrangos išlaidų našumas, įskaitant vieno vieneto kainą ir talpą.

Trijų rūšių silicio karbido epitaksinis augimo krosnis ir pagrindinių priedų skirtumai

Karštos sienos horizontalusis CVD (tipiškas LPE kompanijos PE1O6 modelis), šilto sienos planetinis CVD (tipinis modelis AIXTRON G5WWC/G10) ir beveik karščio sienos CVD („NUFLARE Company“ epiteksinių įrangos technikos „EpireVos6“) yra pagrindiniai epitaksialiniai įrangos techniniai sprendimai, kurie buvo realizuoti komercinėse programose šiame etape. Trys techniniai prietaisai taip pat turi savo savybes ir gali būti atrinkti pagal paklausą. Jų struktūra parodyta taip:

Atitinkami pagrindiniai komponentai yra šie:

a) Karštos sienos horizontaliojo tipo šerdies dalis- pusmėnulio dalys susideda iš

Pasrovio izoliacija

Pagrindinė izoliacijos viršutinė dalis

Viršutinis pusmėnulis

Prieš srovę izoliacija

Pereinamasis kūrinys 2

Pereinamasis kūrinys 1

Išorinis oro antgalis

Kūginis snorkelis

Išorinis argono dujų antgalis

Argono dujų purkštukas

Vaflių atraminė plokštė

Centrinio kaištis

Centrinė sargybinė

Pasrovio kairiojo apsaugos dangtis

Dešinysis apsaugos dangtelis pasroviui

Aukštynos kairiojo apsaugos dangtis

Aukščiausio dešiniojo apsaugos dangtis

Šoninė siena

Grafito žiedas

Apsauginis veltinis

Palaikantis veltinis

Kontaktinis blokas

Dujų išleidimo cilindras

b) Šilto sienos planetos tipas

SiC dengimo planetinis diskas ir TAC padengtas planetinis diskas

(C) beveik ir terminės sienos stovėjimo tipas

„Nuflare“ (Japonija): Ši įmonė siūlo dvigubos kameros vertikalias krosnis, kurios prisideda prie padidėjusio gamybos derliaus. Įranga pasižymi greitaeigiu sukimu iki 1000 apsisukimų per minutę, o tai labai naudinga epitaksiniam vienodumui. Be to, jo oro srauto kryptis skiriasi nuo kitos įrangos, vertikaliai žemyn, taip sumažinant dalelių generavimą ir sumažinant dalelių lašelių, krintančių ant vaflių, tikimybę. Mes teikiame pagrindinius šios įrangos grafito komponentus.

Kaip SIC epitaksialinės įrangos komponentų tiekėjas, „Vetek Semiconductor“ yra pasiryžęs suteikti klientams aukštos kokybės dangos komponentus, kad palaikytų sėkmingą SIC epitaksijos įgyvendinimą.

View as

AIXTRON G5 MOCVD SEPTRESORS

„Aixtron G5 MOCVD“ sistemą sudaro grafito medžiaga, silicio karbidas padengtas grafitas, kvarcas, standžios veltinės medžiagos ir kt. VETEK Semiconductor gali pritaikyti ir gaminti visą šios sistemos komponentų rinkinį. Mes daugelį metų specializuojamės puslaidininkių grafito ir kvarco dalyse. Šis „Aixtron G5 MOCVD SEPTERTORS Kit“ rinkinys yra universalus ir efektyvus sprendimas puslaidininkių gamybai, turinčiam optimalų dydį, suderinamumą ir didelį produktyvumą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

GAN epitaksialinis grafito palaikymas G5

„VeTek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir tiekėjas, skirtas teikti aukštos kokybės GaN epitaksinį grafito susceptorių G5. užmezgėme ilgalaikes ir stabilias partnerystes su daugybe gerai žinomų kompanijų šalyje ir užsienyje, pelnydami klientų pasitikėjimą ir pagarbą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

8 colių pusmėnulio dalis LPE reaktoriui

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti puslaidininkių įrangos gamintojas Kinijoje, daugiausia dėmesio skiriant MTTP ir 8 colių pusmėnulio dalies, skirtos LPE reaktoriui, gamybai. Bėgant metams sukaupėme turtingą patirtį, ypač SiC dangos medžiagose, ir esame įsipareigoję pateikti efektyvius sprendimus, pritaikytus LPE epitaksiniams reaktoriams. Mūsų 8 colių pusmėnulio dalis, skirta LPE reaktoriui, pasižymi puikiu našumu ir suderinamumu ir yra nepakeičiamas pagrindinis epitaksinės gamybos komponentas. Priimkite savo užklausą ir sužinokite daugiau apie mūsų produktus.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Kaip profesionalus Silicio karbido epitaksija gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Silicio karbido epitaksija, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Silicio karbido epitaksija

Trijų rūšių silicio karbido epitaksinis augimo krosnis ir pagrindinių priedų skirtumai

Atitinkami pagrindiniai komponentai yra šie:

a) Karštos sienos horizontaliojo tipo šerdies dalis- pusmėnulio dalys susideda iš

b) Šilto sienos planetos tipas

(C) beveik ir terminės sienos stovėjimo tipas

AIXTRON G5 MOCVD SEPTRESORS

GAN epitaksialinis grafito palaikymas G5

8 colių pusmėnulio dalis LPE reaktoriui

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas