Aukšto grynumo kvarco vaflių valtis

VeTek Semiconductor's High Purity Quartz Wafer Boat yra pagamintas iš itin didelio grynumo kvarco, kuris pasižymi mažu hidroksilo kiekiu, dideliu grynumu ir stipriu atsparumu aukštai temperatūrai. Ši medžiaga taip pat plačiai naudojama puslaidininkių pramonėje kaip medžiaga difuzinėms krosnims ir CVD krosnių komponentams. Kaip konteineris silicio plokštelėms gabenti, didelio grynumo kvarcinės valties plokštelės buvo naudojamos puslaidininkių, fotovoltinės, chemijos ir kitose srityse.

Taikymo scenarijai

Pirma, yra puslaidininkio laukas. Labai svarbus vaflių terminio apdorojimo procesas, įskaitant šiluminį oksidaciją, difuziją, atkaitinimą ir kt. Per terminio apdorojimo procesą mes suteikiame vafliams naujas savybes.

Puslaidininkių plokštelių apdorojimo procesams, tokiems kaip šiluminis oksidacija, aukštos temperatūros difuzija, atkaitinimas ir plonas plėvelės nusėdimas, puslaidininkių plokštelių apdorojimo ir plonos plėvelės nusėdimas naudojami. Partijos šildymo krosnis daugiausia naudojama krosnies korpusui šildyti ritėmis, kad būtų atliktas šiluminis apdorojimas. Remiantis skirtingomis darbinėmis struktūromis, partijos krosnies šerdies vamzdelius galima suskirstyti į horizontalias krosnys ir vertikalios krosnys:

(1) Horizontalios krosnies aukšto grynumo kvarco vaflių valtis dedama horizontaliai, todėl ji vadinama horizontalia krosnimi.

Terminio apdorojimo procese plokštelė pakraunama į didelio grynumo kvarcinį vaflių valtį, lėtai siunčiama į kvarco krosnies vamzdį, o plokštelė dedama į pastovios temperatūros zoną apdorojimui. Palaukus, kol procesas bus baigtas, Wafer naudota kvarcinė valtis lėtai ištraukiama iš kvarco krosnies, kad vaflė nebūtų pažeista dėl staigių temperatūros pokyčių. Horizontalios krosnys plačiai naudojamos integrinių grandynų, kurių plokštelių skersmuo mažesnis nei 200 mm, difuzijos procese. 

Horizontalių krosnių pranašumai yra paprastas procesas, geras vaflių vienodumas ir galimybė tuo pačiu metu apdoroti kelis vaflius. Trūkumai yra lėtas šildymo greitis, didelis įrangos dydis, sunkumai automatizuojant ir lengvai patenka išorinį orą pakraunant ir iškraunant vaflius.

(2) Vertikalios krosnies aukšto grynumo kvarco vaflių valtis dedama vertikaliai, todėl ji vadinama vertikalia krosnimi.

Vaflis yra pakrautas ant kvarco bokšto ir lėtai kyla į kvarco krosnies vamzdelį, skirtą šildymui. Šildymo metu aukšto grynumo kvarco vaflių valtis lėtai sukasi, kad vaflis būtų šildomas tolygiai. Po apdorojimo kvarco bokštas lėtai nusileis, kad išvengtų temperatūros pokyčių, kurie gali pažeisti vaflius. Vertikalios krosnys daugiausia naudojamos 200 mm ir 300 mm skersmens vaflių integruotos grandinės procese. Pagrindinė vertikalių krosnių technologija yra aukšto tikslumo temperatūros lauko valdymas, dalelių valdymas, mikro aplinkos mikro-deguonies valdymas ir motorizacija. Vertikalių krosnių pranašumai yra plonas natūralus oksido sluoksnis, geras vienodumas, lengvesnis automatizavimas, mažos įrangos pėdsakų ir partijos apdorojimo. Trūkumas yra tas, kad šildymo greitis yra lėtas.

Fotoelektros srityje fotovoltinių elementų gamybos procese reikia kvarcinių valčių, kad būtų galima nešti ir transportuoti silicio plokšteles aukštos temperatūros difuzijos procese. Aukštos temperatūros apdorojimas didelio grynumo azoto, deguonies ar kitų inertinių dujų atmosferoje, pavyzdžiui, fosforo difuzija arba boro difuzija, yra svarbus žingsnis saulės elementų gamybos procese. Tikslas yra suformuoti PN jungtį ant silicio plokštelės.

Kvarcinio laivo viduje yra tiksliai suprojektuoti plyšiai, užtikrinantys, kad silicio plokštelė išlaikytų tikslią padėtį aukštos temperatūros difuzijos proceso metu ir būtų tolygiai kaitinama. Kadangi kvarco medžiaga turi gerą atsparumą aukštai temperatūrai ir cheminį stabilumą, ji neužterš silicio plokštelės, o tai padeda išlaikyti aukštą gamybos aplinkos švarą.

Kaip Kinijos Wafer naudojamų kvarcinių valčių rinkos novatorius ir lyderis, nesvarbu, ar užsiimate puslaidininkių pramone, ar fotovoltinės energijos pramone, jei jums reikia didelio grynumo kvarcinių vaflių valčių, paprašykite mūsų pasiūlymo ir mes galėsime pritaikyti tai jums pagal jūsų poreikius.

Tai puslaidininkis produktų parduotuvės: