Pramonės naujienos

Nuolat besikeičiančiame namų ir virtuvės prietaisų pasaulyje vienas gaminys neseniai sulaukė didelio dėmesio dėl savo naujovių ir praktinio pritaikymo – kvarcinis termosas.

„Quartz“ produktai yra plačiai naudojami puslaidininkių gamybos procese dėl jų didelio grynumo, aukštos temperatūros atsparumo ir stipraus cheminio stabilumo.

Silicio karbido (sic) krištolo augimo krosnys vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį gaminant aukštos kokybės sic vaflius naujos kartos puslaidininkių prietaisams. Tačiau aukštos kokybės SiC kristalų augimo procesas kelia didelių iššūkių. Nuo ekstremalių šiluminių gradientų valdymo iki kristalų defektų mažinimo, vienodo augimo užtikrinimo ir gamybos sąnaudų kontrolės, kiekvienam žingsniui reikalingi pažangūs inžineriniai sprendimai. Šiame straipsnyje bus analizuojami SIC krištolo augimo krosnių techniniai iššūkiai iš kelių perspektyvų.

„Smart Cut“ yra pažengęs puslaidininkių gamybos procesas, pagrįstas jonų implantacija ir vaflių nurišimu, specialiai sukurta ypač plonos ir labai vienodos 3C (kubinio silicio karbido) vaflių gamybai. Tai gali perkelti ypač plonas krištolo medžiagas iš vieno substrato į kitą, taip nutraukti originalius fizinius apribojimus ir pakeisti visą substrato pramonę.

Rengiant aukštos kokybės ir didelio pajamingumo silicio karbido substratus, šerdyje reikia tiksliai kontroliuoti gamybos temperatūrą geromis šiluminiu lauko medžiagomis. Šiuo metu daugiausia naudojami šiluminio lauko tiglio rinkiniai yra didelio grynumo grafito struktūriniai komponentai, kurių funkcijos yra šildyti išlydytus anglies miltelius ir silicio miltelius, taip pat šilumos palaikymą.

Pamatę trečiosios kartos puslaidininkius, tikrai susimąstysite, kas buvo pirmoji ir antroji kartų. Čia „karta“ klasifikuojama pagal medžiagas, naudojamas puslaidininkių gamyboje.

Elektrostatinis chuckas (ESC), dar žinomas kaip elektrostatinis chuck (ESC, E-Chuck), yra armatūra, kuri naudoja elektrostatinės adsorbcijos principą, kad būtų laikomas ir pritvirtindamas adsorbuotą medžiagą. Jis tinka vakuume ir plazmoje.

SiC vaflių laikikliai, kaip pagrindinės eksploatacinės medžiagos trečiosios kartos puslaidininkių pramonės grandinėje, jų techninės savybės daro tiesioginę įtaką epitaksinio augimo ir prietaisų gamybos derliui. Dėl didėjančios aukštos įtampos ir aukštos temperatūros prietaisų paklausos pramonės šakose, tokiose kaip 5G bazinės stotys ir naujos energetinės transporto priemonės, SIC vaflių vežėjų tyrimai ir taikymas dabar susiduria su didelėmis plėtros galimybėmis.

Aliuminio oksido keramika yra „darbo arklys“ keraminių komponentų gamybai. Jie pasižymi puikiomis mechaninėmis savybėmis, ypač aukštais lydymosi taškais ir kietumu, atsparumu korozijai, stiprų cheminį stabilumą, didelę varžą ir puikią elektrinę izoliaciją. Jie dažniausiai naudojami poliravimo plokštelėms, vakuuminiams griebtuvams, keraminėms rankoms ir panašioms dalims gaminti.

Puslaidininkių medžiagas galima suskirstyti į tris kartas chronologine tvarka. Pirmąją kartą sudaro įprastos elementinės medžiagos, tokios kaip germanis ir silicis, kurioms būdingas patogus perjungimas ir paprastai naudojamos integruotose grandinėse. Antrosios kartos junginiai puslaidininkiai, tokie kaip galio arsenidas ir indio fosfidas, daugiausia naudojami liuminescencinėse ir ryšių medžiagose.

„Quartz“ prietaisai vaidina svarbų vaidmenį gaminant saulės elementus, siūlančius išskirtinį šiluminį atsparumą, cheminį grynumą ir struktūrinį stabilumą, reikalingą aukštos temperatūros procesuose. Nuo kvarco difuzijos vamzdžių ir tiražų iki kvarco valčių ir krosnių komponentų šios didelės grynumo medžiagos yra būtinos norint pasiekti optimalų difuzijos, ŠKL ir šlapio ėsdinimo etapų efektyvumą.

TAC danga beveik visiškai pašalina anglies kapsuliavimo reiškinį, išskiriant tiesioginį kontaktą tarp grafito tiglio ir SiC lydalo, žymiai sumažindama mikrotubijų defektų tankį.

SIC keramika yra keraminė medžiaga, kurią sukelia silicio (SI) ir anglies (C) elementų reakcija, pasižyminti ypač dideliu kietumu, atsparumu šilumai ir cheminis stabilumas

Puslaidininkių gamybos aukštųjų akcijų pasaulyje tikslumas ir stabilumas yra viskas-ir būtent tada įeina elektrostatinis chuckas (ESC). Daug daugiau nei tik laikymo įrankis, ESC naudoja elektrostatines jėgas, kad saugiai spaustų vaflius, tokius kaip ėsdinimas, nusėdimas ir jonų implantacija. Bet kaip tai iš tikrųjų veikia? Kodėl jis pranašesnis už tradicinį mechaninį užsegimą? O kokį vaidmenį jis vaidina siekiant nanoskalės tikslumo ir pralaidumo efektyvumo? Sveiki atvykę į skaitymą.

Elektrostatinio griebtuvo principas „Dechuck“ yra pagrindinė jo darbo eigos dalis, apimanti elektrostatinės jėgos pašalinimo ir vaflinių išleidimo mechanizmus.

Stiklinė anglis yra ne grafituota anglis, sujungianti stiklo ir keramikos savybes. Jis pasižymi daugybe savybių, tokių kaip atsparumas aukštai temperatūrai, atsparumas korozijai, geras elektrinis laidumas ir kt. Šis tinklaraštis analizuoja stiklinės anglies tyrimų istoriją ir būsimą vystymosi tendenciją, kurią verta perskaityti.