Pramonės naujienos

Nuodugni MOCVD epitaksijos grafito susceptorių silicio karbido dangos briaunų pageltimo ir lupimo priežasčių analizė. VeTek pašalino mikroįtempimą tiksliai valdydamas pradinį CVD nusodinimo greitį ir srauto lauką, padidindamas dangos išeigą nuo 50% iki 90% ir pailgindamas didelio grynumo grafito dalių tarnavimo laiką.

Išspręsdamas 1,4 % storio skirtumus tarp kišenės į kišenę kelių kišenių silicio epitaksinio grafito susceptoriuose, VeTek Semi pagerino suskeptoriaus plokštumą iki <0,08 mm ir sumažino svyravimą iki 0,69 % naudodama CVD srauto lauko modeliavimą ir itin tikslią SiC dangą, padidindama plokštelių išeigą.

Sužinokite, kaip Vetek pašalino radialinį įtrūkimą didelio dydžio MOCVD SiC padengtuose grafito susceptoriuose. Struktūrinio įtempių buferio pertvarkymas ir CTE suderinimas padidino tarnavimo laiką 300%+.