Naujienos

Rengiant aukštos kokybės ir didelio pajamingumo silicio karbido substratus, šerdyje reikia tiksliai kontroliuoti gamybos temperatūrą geromis šiluminiu lauko medžiagomis. Šiuo metu daugiausia naudojami šiluminio lauko tiglio rinkiniai yra didelio grynumo grafito struktūriniai komponentai, kurių funkcijos yra šildyti išlydytus anglies miltelius ir silicio miltelius, taip pat šilumos palaikymą.

Pamatę trečiosios kartos puslaidininkius, tikrai susimąstysite, kas buvo pirmoji ir antroji kartų. Čia „karta“ klasifikuojama pagal medžiagas, naudojamas puslaidininkių gamyboje.

Elektrostatinis chuckas (ESC), dar žinomas kaip elektrostatinis chuck (ESC, E-Chuck), yra armatūra, kuri naudoja elektrostatinės adsorbcijos principą, kad būtų laikomas ir pritvirtindamas adsorbuotą medžiagą. Jis tinka vakuume ir plazmoje.