žinios

Didėjant SiC medžiagų paklausai galios elektronikos, optoelektronikos ir kitose srityse, SiC monokristalų augimo technologijos kūrimas taps pagrindine mokslo ir technologinių naujovių sritimi. Kaip SiC monokristalų auginimo įrangos pagrindas, šiluminio lauko projektavimui ir toliau bus skiriamas didelis dėmesys ir išsamūs tyrimai.

Tikimasi, kad dėl nuolatinės technologinės pažangos ir nuodugnių mechanizmų tyrimų 3C-SiC heteroepitaksinė technologija vaidins svarbesnį vaidmenį puslaidininkių pramonėje ir skatins didelio efektyvumo elektroninių prietaisų kūrimą.

Erdvinis ALD, erdviškai išskirtas atominio sluoksnio nusėdimas. Vaflis juda tarp skirtingų padėčių ir yra veikiamas skirtingų pirmtakų kiekvienoje padėtyje. Žemiau pateiktas paveikslas yra tradicinio ALD ir erdvės izoliuoto ALD palyginimas.

Neseniai Vokietijos tyrimų institutas „Fraunhofer IISB“ padarė proveržį tiriant ir plėtojant „Tantalum“ karbido dangos technologiją, ir sukūrė lanksčiau ir ekologiškesnį purškimo dangos tirpalą, kuris yra lankstesnis ir ekologiškesnis nei CVD nusėdimo sprendimas, ir buvo komercializuotas.