Fizinis garų nusėdimas

„Vetek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas, tiekiantis pažangias puslaidininkines medžiagas fizinio nusodinimo iš garų procese, pvz.SiC dengtas tiglis, stiklinis anglies tiglis,SiC dangos grafito šildytuvai, Elektronų pluošto pistoleto garinimo tipas.

Pagrindiniai PVD proceso principai

Fizinio garų nusėdimo procesai paprastai apima įvairius specifinius metodus, tokius kaip garinimas, dulkinimas ir jonų danga. Nepaisant naudojamo metodo, pagrindinis fizinio garų nusėdimo principas yra išgainti medžiagą iš šaltinio per aukštos temperatūros kaitinimo ar jonų bombardavimą. Garinta medžiaga juda atomų ar molekulių pavidalu vakuume ar žemo slėgio aplinkoje ir kondensuoja į ploną plėvelę substrato paviršiuje. Šis procesas daugiausia pasiekiamas fizinėmis priemonėmis, todėl vengiama cheminių reakcijų įtakos medžiagos grynumui.

Fizinio garų nusodinimo technologijos privalumai

Didelis grynumas ir didelis tankis: PVD deponuotos plėvelės paprastai turi didelį grynumą ir tankį, o tai gali žymiai pagerinti dangos, tokios kaip atsparumas dilimui, atsparumas korozijai ir kietumui, našumą.

Stiprus plėvelės sukibimas: PVD procesas gali sudaryti filmą su stipriu sukibimu ant substrato, užtikrinant, kad plėvelę nėra lengva nulupti naudojimo metu, prailginant produkto tarnavimo laiką.

Platus medžiagų pasirinkimo asortimentas: PVD technologija gali būti taikoma įvairioms medžiagoms, įskaitant metalus, keramiką ir lydinius, ir gali paruošti įvairias funkcines dangas, tokias kaip laidžios, izoliacinės, karščiui atsparios ir antioksidacinės dangos.

Aplinkos apsauga ir tvarumas: Palyginti su tokiais procesais kaip cheminio garų nusėdimas (CVD), fizinio garų nusėdimo (PVD) procesas yra ekologiškesnis, jame nėra kenksmingų dujų generavimo ir mažina taršą į aplinką.

PVD technologijos taikymas

Puslaidininkių pramonė: Puslaidininkių gamyboje fizinis garų nusėdimas dažnai naudojamas rengiant plonus plėvelės elektrodus, difuzijos barjerus ir metalo sujungimus, kad būtų užtikrinta, jog komponentai turi gerą laidumą ir stabilumą.

Optiniai įrenginiai: Fizinio garų nusodinimo technologija plačiai naudojama optinėse dangose, pvz., veidrodžių ir lęšių antirefleksinėse dangose, ir optinių filtrų gamyboje, siekiant pagerinti optinių prietaisų veikimą.