Keraminis elektrostatinis griebtuvas

Puslaidininkių gamybos procesai, ypač perdirbant vaflius 

tam tikra rizika. Kai jėga sutelkta į užspaudimo tašką, trapūs silicio vaflininkai gali išmesti mažus fragmentus, padarydami didelę žalą vaflių gamybai.

Tokiu atveju keraminis elektrostatinis griebtuvas tampa geresniu pasirinkimu, kuris nustato vaflį elektrostatine jėga. Elektrostatinė jėga veikia tolygiai ant vaflio, todėl vaflis gali būti tvirtai pritvirtintas, pagerindamas proceso tikslumą.

Remiantis atitinkamais tyrimų dokumentais, keraminis elektrostatinis griebtuvas turi stipresnį siurbimą nei kiti elektrostatiniai griebtuvai. Pavyzdžiui, keraminis elektrostatinis šmaikštys turi daug stipresnį siurbimą nei naminių gyvūnėlių plėvelės elektrostatinis chuck.

Keramika Chuckas paprastai gaminamas iš aukšto našumo keraminių medžiagų, tokių kaip Al2O3, ALN ar SIC, turinčios didelį atsparumą šilumai, izoliacija ir atsparumas korozijai. Poruotas sic keraminis griebtuvas yra ne tik stabilus esant ekstremalioms temperatūroms, bet ir veiksmingai apsaugo nuo keramikos E-chucko dėl cheminių reagentų ir plazmos ėsdinimo gamybos proceso metu.

Temperatūros kontrolė: Aukštas šilumos laidumas ir stabilios keraminių medžiagų šiluminės savybės leidžia aliuminio oksido keramiko vakuuminiam šmaikščiui efektyviai valdyti temperatūrą, taip optimizuodama temperatūros pasiskirstymą proceso metu.

Vakuuminis pritaikymas: Keraminis elektrostatinis griebtuvas tinka vakuuminei aplinkai, ypač esant žemo slėgio ir aukšto tikslo ėsdinimo procesams.

Mažos dalelių generavimas: Porėtas SiC keraminis E-Chuckas turi lygų paviršių, o tai gali sumažinti dalelių užteršimą vaflių tvirtinimo metu ir padėti pagerinti produkto derlių.

Taikymas: daugiausia naudojamas puslaidininkių gamyboje, nuimamas keraminis elektrostatinis griebtuvas, užtikrinantis tikslų padėties nustatymą ir stabilumą, o tai labai naudinga litografijai, ėsdinimui ir kitiems puslaidininkių plokštelių apdorojimo procesams. Įsitikinkite, kad vaflis perdirbant yra nepažeistas ir pagerina lustų gamybos kokybę.

IT puslaidininkisKeraminės „E-Chuck“ gamybos parduotuvės: