Vakuuminis chuckas

Paraiška: 

Didelio efektyvumo vakuuminis chuck, pagamintas siekiant tikslios adsorbcijos ir tvirto vaflių bei luitų fiksavimo. Tai gerai - tinka situacijoms, įskaitant puslaidininkių gamybą, vaflių pjaustymą, tikslaus apdorojimą, aukštos temperatūros epitaksiją, ėsdinimą ir jonų implantaciją.

Pagrindiniai parametrai:

● Reguliuojamas poringumas (svyruoja nuo 10 iki 200 μm).
● Galintis atlaikyti ultragarsą - aukšta temperatūra (iki ≤1600 ° C) ir rodo puikų šiluminio smūgio atsparumą.
● Adsorbcijos vakuumas: standartas yra - 90 kPa (pritaikomas norint pasiekti 100 kPa).

● Siurbimo taurės matmenys: gali palaikyti 2012 m. 4/6 - colių vaflius, o luitų dydis gali būti pritaikytas atsižvelgiant į specifinius poreikius.

Ⅰ. Aprašymas

„Veteksemicon“ keraminis vakuumas Chuckas naudoja kombinuotą porėto keramikos ir metalinio išorinio žiedo struktūrą. Suasmeninus oro kanalų ir porų projektavimą, jis suvokia tolygų adsorbcijos jėgos pasiskirstymą ir didelį stabilumą. Šis chuckas tinka puslaidininkių gamybai, vaflių pjaustymui, tikslumo apdorojimui ir tt. Jis gali veikti aukštos temperatūros ir aukšto greičio judesio parametruose ir atitinka įvairių dydžių vaflių/luitų suderinamumo reikalavimus.

Ⅱ. Pagrindinės struktūros ir medžiagų pranašumai

Daugiasluoksnis kompozicinis išdėstymas:

✔ Paviršiaus sluoksnis: Pagaminta iš porėto keramikos (galite pasirinkti tarp porėto silicio karbido ar porėto grafito). Porų skersmuo gali būti sureguliuotas (10–200 μm), o tai garantuoja, kad adsorbcijos jėga tolygiai perkeliama į vaflio paviršių, taip užkertant kelią vietinio streso kūrimui.

✔ Matrica: Sudarytas iš labai tvirto metalinio rėmo (nerūdijančio plieno arba aliuminio lydinio), kad būtų pasiūlyta konstrukcinė atrama ir hermetiškumas.

✔ kvėpavimo takai ir poros: Tiksliai apdirbti vidiniai kvėpavimo takai sudaro tinklą kartu su tolygiai išdėstytais mikroporais. Ši sąranka palaiko greitą vakuuminį ištraukimą (adsorbcijos jėga gali siekti iki 90 kPa) ir momentinio išsiskyrimo.

Ⅲ . Ma palyginimasTerialinės charakteristikos

1. Medžiagos savybių palyginimas

2. Paraiškos scenarijai ir atvejai

✔ Puslaidininkių fabrikas

Epitaksinis augimas: Aukštoje temperatūroje jis gali tvirtai adsorbuoti sic vaflius, neleidžiant vafliams deformuotis ir užteršti.

Litografija ir ėsdinimas: Tai leidžia tiksliai nustatyti aukšto greičio judėjimo platformų (pagreičio ≤10 g) nustatymą, užtikrinantį grafinio lyginimo tikslumą.

✔ Luitų apdorojimas

Pjaustymas ir šlifavimas: jis gali adsorbuoti sunkius luitus (tokius kaip safyras ir silicis - karbido luitai), sumažindamas kraštų įtrūkimą dėl vibracijos.

✔ Moksliniai tyrimai ir specialiosios technologijos

Aukštas - temperatūros atkaitinimas: Porėtas silicio - karbido siurbimo puodeliai gali nuolat veikti 1600 ° C temperatūroje be deformacijos ar ventiliacijos taršos.

Vakuuminė danga: su aukštu oru - sandarumo konstrukcija, ji gali prisitaikyti prie PVD/CVD ertmės aplinkos.

3. Individualizuota paslauga

✔ Mes siūlome pritaikyti dydį ir apkrovą.

✔ „Stomata“ ir kvėpavimo takai gali būti optimizuoti, kad atitiktų specifinius reikalavimus.

✔ Tai gali būti pritaikyta specialiajai aplinkai.

Ⅳ. DUK:

Kaip vakuuminiai griebtuvai pasiekia kelių dydžių vaflių suderinamumą (pvz., 12/8/6 ")?

Kl.: Kaip vienu metu vienkartinis chuckas tuo pačiu metu tilpo į 12 colių, 8 colių ir 6 colių vaflius? Ar būtina fizinis restruktūrizavimas?

A:Daugialypis suderinamumas per adaptyvius kvėpavimo takus ir stomatalinį skaidymą:

✔ Dinaminė stomatalinė valdymas: Straipsnis čiulptuko paviršiuje pasiskirsto žiedo srityje, o oro grandinę skirtingose ​​vietose kontroliuoja išorinis vožtuvas.

Pavyzdžiui, sugeriant 8 colių plokštelę, įjungtos tik poros centrinėje srityje ir uždaromos išorinės poros (kad būtų išvengta adsorbcijos jėgos nutekėjimo).

✔ Lankstus kvėpavimo takų dizainas: Uostų tinklas turi modulinį išdėstymą, atitinkantį skirtingo dydžio vaflių kraštus, kad būtų užtikrinta vienoda adsorbcijos jėgos aprėptis. ir Privalumai yra kaip šie:

Nulio aparatinės įrangos pakeitimas: Nereikia pašalinti ir pakeisti siurbimo taurės, naudojant programinės įrangos ar dujų vožtuvų jungiklį, galima pritaikyti skirtingų dydžių.

Išlaidų taupymas: sumažinkite įrangos renovacijos sąnaudas ir prastovą bei padidinkite gamybos linijos lankstumą.