Vaflių tvarkymo galutinis efektorius

Vaflių tvarkymo galutinis efektorius yra robotų rankos rūšis, specialiai sukurta puslaidininkių pramonei, paprastai naudojama tvarkyti ir perduoti ir perduotiVafliai. Vaflių gamybos aplinka reikalauja ypač didelio švaros, nes dėl mažų dalelių ar teršalų traškučiai gali sugesti perdirbimo metu. 

Keraminės medžiagos yra plačiai naudojamos gaminant šias rankas dėl puikių fizinių ir cheminių savybių.

Grynumas ir kompozicija

Aliuminio oksido grynumas paprastai yra ≥ 99,9%, o metalo priemaišos (tokios kaip MGO, CaO, SiO₂) kontroliuojamos nuo 0,05% iki 0,8%, kad pagerintų atsparumą plazmos ėsdinimui.

α fazės aliuminio oksido („Corundum“ struktūra) yra pagrindinis, kristalų tipas yra stabilus, tankis yra 3,98 g/cm³, o tikrasis tankis po sukepinimo yra 3,6 ~ 3,9 g/cm³.

Mechaninė nuosavybė

Kietumas: Mohs kietumas 9 ~ 9,5, Vickers kietumas 1800 ~ 2100 HV, aukštesnis nei nerūdijantis plienas ir lydinys.

Lenkimo stiprumas: 300 ~ 400 MPa, kuri gali atlaikyti mechaninį didelio greičio vaflių valdymo įtempį.

Elastinis modulis: 380 ~ 400 GPa, kad būtų užtikrinta, jog valdymo rankena yra tvirta ir nėra lengva deformuoti.

Šilumos ir elektrinės savybės

Šilumos laidumas: 20 ~ 30 W/(m · k), vis dar palaiko stabilią izoliaciją (varža> 10¹⁴ ω · cm).

Temperatūros atsparumas: Ilgalaikis naudojimo temperatūra gali pasiekti 850 ~ 1300 ℃, tinkama vakuuminei aukštos temperatūros aplinkai.

Paviršiaus charakteristika

Paviršiaus šiurkštumas: RA≤ 0,2 μm (po poliravimo), kad būtų išvengta vaflių įbrėžimų

Vakuuminės adsorbcijos poringumas: Tuščiavidurė struktūra, pasiekta izostatinio presavimo metu, poringumas <0,5%.

Antra, konstrukcinio dizaino ypatybės

Lengvas ir stiprumo optimizavimas

Naudojant integruotą liejimo procesą, svoris yra tik 1/3 metalinės rankos, sumažinant inercijos sukeltą padėties nustatymo paklaidą.

Galutinis poveikis yra suprojektuotas kaip griebtuvas arba vakuuminis absorberis, o kontaktinis paviršius padengtas antistatine danga, kad vaflis neužterštų 710 naudojant elektrostatinę adsorbciją.

Taršos atsparumas

Didelio grynumo aliuminio oksidas yra chemiškai inertiškas, neišskiria metalo jonų ir atitinka pusiau F47 švaros standartą (dalelių tarša <10 ppm).

Trečia, gamybos proceso reikalavimai

Formavimas ir sukepinimas

Izostatinis presavimas (slėgis 200 ~ 300 MPa), kad medžiagos tankis būtų> 99,5%.

Aukštos temperatūros sukepinimas (1600 ~ 1800 ℃), grūdų dydžio kontrolė 1 ~ 5 μm, kad būtų subalansuotas stiprumas ir tvirtumas.

Tikslus apdirbimas

Deimantų šlifavimo apdorojimas, matmenų tikslumas ± 0,01 mm, lygumas ≤ 0,05 mm/m

Pusiau Produktų parduotuvės: