Aliuminio oksido keramikos vakuuminis chuck

Aliuminio oksido keraminis vakuumas Chuckas yra vaflių laikiklis epitaksiniams procesams, atliekant puslaidininkių apdorojimą. Tai yra pagrindinis įrankis, skirtas stabilizuoti vaflius ir užtikrinti vienodą epitaksinių sluoksnių augimą. Jis plačiai naudojamas epitaksinėje įrangoje, pavyzdžiui,MOCVDirLPCVD.

VETEK puslaidininkių aliuminio oksido keramikos vakuuminis chuckas vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį plunksnos plonėjimo ir šlifavimo etapuose puslaidininkių gamybos etapuose. Šie etapai apima tiksliai mažinimąVaflių substratasSiekiant pagerinti lustų šilumos išsklaidymą, kuris yra būtinas norint pagerinti puslaidininkių prietaisų efektyvumą ir tarnavimo laiką.

Suderinamas su keliais vaflių dydžiais: „Vetek“ puslaidininkio aliuminio oksido keraminis vakuumas, skirtas palaikyti įvairius vaflių dydžius, įskaitant 2, 3, 4, 5, 6, 8 ir 12 colių. Dėl šio pritaikomumo jis tinka įvairioms puslaidininkių gamybos aplinkai, užtikrinant nuoseklų ir patikimą skirtingų vaflių dydžių našumą.

Aukščiausia medžiagos sudėtis: Aliuminio oksido keramikos vakuuminio čipo pagrindas yra pagamintas iš „Ultra-Pure“ 99.9999% aliuminio oksido (Al₂O₃), kuris pasižymi puikiu atsparumu cheminiam atakai ir šiluminio stabilumui. Chucko paviršius pagamintas iš porėtoSilicio karbidas (sic). Porėta keraminė medžiaga turi tankią ir vienodą struktūrą, kuri pagerina jos patvarumą ir našumą.

NaudaPorėta keramikos technologija：

Medžiagos grynumas ir patvarumas: Pagaminta iš 99,99% gryno aliuminio oksido, mūsų aliuminio oksido keraminis vakuumas Chuckas priešinasi cheminiam atakai ir siūlo puikų šiluminį stabilumą, todėl jis yra idealus ypač reikliam gamybos aplinkai.

Optimalus poringumas ir oro pralaidumas: Tolygiai paskirstytos mikroporos suteikia puikų oro pralaidumą ir vienodą adsorbcijos jėgą, todėl veikia sklandžiai ir nuosekliai.

Sustiprintas lygumas ir paralelizmas: Mikroporiniai aliuminio oksido keramikiniai vakuuminiai griebtuvai turi puikų lygumą ir paralelizmą, užtikrindami tikslų vaflių valdymą ir stabilumą.

Pritaikytos paslaugų galimybės: „Veteksemi“ gali pateikti įvairias pritaikomas formas, įskaitant apvalią, kvadratą, žiedą ir kitus dizainus, kurių storis svyruoja nuo 3 mm iki 10 mm. Šis pritaikymas užtikrina, kad mūsų aliuminio oksido keraminiai vakuuminiai griebtuvai patenkintų specifinius skirtingų puslaidininkių gamybos procesų poreikius ir yra neabejotinai jūsų idealus pasirinkimas.

„Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojęs pateikti pažangias technologijas ir gaminių sprendimus puslaidininkių pramonei, ir mes nuoširdžiai tikimės, kad būsime jūsų ilgalaikį partnerį Kinijoje.

The Cheminė formulėAliuminio oksido keramika：

IT puslaidininkisAliuminio oksido keramikos vakuuminės chuck parduotuvės: