Puslaidininkinis keraminis purkštukas

Puslaidininkinis keramikinis antgalis vaidina svarbų vaidmenįHDP-CVD procesas, naudojamas tiksliai valdyti dujų srautą ir užtikrintiAukštos kokybės filmo nusėdimas. Keraminis purkštukas yra tiksliai sukurtas taip, kad būtų užtikrintas pastovus ir valdomas dujų srautas, sumažinant galimą turbulenciją, kai dujos patenka į reakcijos kamerą.

Techninės specifikacijos:

1. Medžiagos sudėtis:

„VeTeK Semiconductor Ceramic“ smėliavimo antgalis paprastai yra pagamintas iš puslaidininkinės keramikos, tokios kaip aliuminio oksidas (Al2O3),Silicio karbidas (sic)arba cirkonio oksidas (Zro2), šios medžiagos pasižymi puikiomis savybėmis:

    • didelis terminis stabilumas (gali atlaikyti aukštesnę nei 1000 ℃ temperatūrą)

    • Atsparumas korozijai reaguojančiomis dujomis, naudojamomisCVD procesai(pvz., silanas, amoniakas)

    • atsparumas nuolatiniam plazmos poveikiui.

2. Struktūrinis dizainas:

    • Aukos dydis: Puslaidininkinio keraminio purkštuko anga yra moksliškai suprojektuota taip, kad būtų galima tiksliai valdyti dujų srautą, o tai savo ruožtu daro įtaką plėvelės vienodumui ir storiui.

    • Kampai ir geometrija: tiksliai sukurta siekiant užtikrinti vienodą dujų pasiskirstymą per substratą, sumažinant defektų defektus.

Puslaidininkių pramonėje puslaidininkių keramikos pūtimo purkštukai vaidina pagrindinį vaidmenį pirmiausia HDP-CVD procese. Jie taip pat naudojami dėti plonas plėveles mikroelektronikai gaminti, užtikrinant aukštos kokybės paviršiaus dangas, kurios yra vienodos ir be teršalų.

„Vetek“ puslaidininkių keramikos purkštukų parduotuvės: