Oksidacijos ir difuzijos krosnis

Oksidacijos ir difuzijos krosnys naudojamos įvairiose srityse, tokiose kaip puslaidininkiniai įrenginiai, diskretieji įrenginiai, optoelektroniniai įrenginiai, galios elektroniniai prietaisai, saulės elementai ir didelio masto integrinių grandynų gamyba. Jie naudojami procesams, įskaitant difuziją, oksidaciją, atkaitinimą, legiravimą ir plokštelių sukepinimą.

VeTek Semiconductor yra pirmaujanti gamintojas, kurio specializacija yra didelio grynumo grafito, silicio karbido ir kvarco komponentų oksidacijos ir difuzijos krosnyse gamyba. Esame įsipareigoję tiekti aukštos kokybės krosnių komponentus puslaidininkių ir fotovoltinės energijos pramonei ir esame paviršių dengimo technologijų, tokių kaip CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbonas ir kt., priešakyje.

VeTek Semiconductor silicio karbido komponentų pranašumai:

Atsparumas aukštai temperatūrai (iki 1600 ℃)

Puikus šilumos laidumas ir šiluminis stabilumas

Geras atsparumas cheminei korozijai

Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas

Didelis stiprumas ir kietumas

Ilgas tarnavimo laikas

Oksidacinėse ir difuzinėse krosnyse dėl aukštos temperatūros ir korozinių dujų daugelio komponentų reikia naudoti aukštai temperatūrai ir korozijai atsparias medžiagas, tarp kurių dažniausiai naudojamas silicio karbidas (SiC). Toliau pateikiami įprasti silicio karbido komponentai, randami oksidacijos ir difuzijos krosnyse:

Vaflių valtis

Silicio karbido plokštelių valtis yra talpykla, naudojama silicio plokštelėms nešti, kuri gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir nereaguoti su silicio plokštelėmis.

Krosnies vamzdis

Krosnies vamzdis yra pagrindinė difuzinės krosnies sudedamoji dalis, naudojama silicio plokštelėms talpinti ir reakcijos aplinkai valdyti. Silicio karbido krosnių vamzdžiai pasižymi puikiomis aukštos temperatūros ir atsparumo korozijai savybėmis.

Atraminė plokštė

Naudojamas oro srautui ir temperatūros pasiskirstymui krosnyje reguliuoti

Termoporos apsauginis vamzdis

Naudojamas temperatūros matavimo termoporų apsaugai nuo tiesioginio kontakto su korozinėmis dujomis.

Konsolinis irklas

Silicio karbido konsolinės mentelės yra atsparios aukštai temperatūrai ir korozijai, yra naudojamos silicio laiveliams arba kvarciniams laiveliams, gabenantiems silicio plokšteles, transportuoti į difuzinės krosnies vamzdžius.

Dujų purkštukas

Naudojamas reakcijos dujoms įvesti į krosnį, jos turi būti atsparios aukštai temperatūrai ir korozijai.

Valčių vežėjas

Silicio karbido plokštelių laikiklis naudojamas tvirtinti ir palaikyti silicio plokšteles, kurios turi tokius privalumus kaip didelis stiprumas, atsparumas korozijai ir geras konstrukcijos stabilumas.

Krosnies durys

Silicio karbido dangos arba komponentai taip pat gali būti naudojami krosnies durelių viduje.

Kaitinantis elementas

Silicio karbido kaitinimo elementai yra tinkami aukštai temperatūrai, didelei galiai ir gali greitai pakelti temperatūrą iki daugiau nei 1000 ℃.

SiC įdėklas

Naudojamas vidinei krosnies vamzdžių sienelei apsaugoti, jis gali padėti sumažinti šilumos energijos nuostolius ir atlaikyti atšiaurią aplinką, pavyzdžiui, aukštą temperatūrą ir aukštą slėgį.