Produktai
Porėta
  • PorėtaPorėta
  • PorėtaPorėta
  • PorėtaPorėta

Porėta

Mūsų porėtos sic keraminės plokštelės yra porėtos keraminės medžiagos, pagamintos iš silicio karbido kaip pagrindinis komponentas ir apdorojamos specialiais procesais. Tai yra nepakeičiamos puslaidininkių gamybos, cheminio garų nusėdimo (CVD) ir kitų procesų medžiagos.

Porėta sic keraminė plokštė yra porėta struktūros keraminė medžiaga, pagaminta išSilicio karbidaskaip pagrindinis komponentas ir derinamas su specialiu sukepinimo procesu. Jo poringumas yra reguliuojamas (paprastai 30–70%), porų dydžio pasiskirstymas yra vienodas, jis turi puikų atsparumą aukštai temperatūrai, cheminį stabilumą ir puikų dujų pralaidumą, jis plačiai naudojamas puslaidininkių gamyboje, cheminio garų nusėdimas (CVD), aukštos temperatūros dujų filtravimas ir kiti laukai.


Norėdami gauti daugiau informacijos apie porėtą sic keraminę plokštelę, apsilankykite šiame tinklaraštyje.


Porėtas sic keraminis diskasPuikios fizinės savybės


● Ekstremalus atsparumas aukštai temperatūrai:


SiC keramikos lydymosi temperatūra yra net 2700 ° C ir vis tiek gali išlaikyti struktūrinį stabilumą virš 1600 ° C, žymiai viršijančiu tradicinę aliuminio oksido keramiką (apie 2000 ° C), ypač tinkamą puslaidininkių aukštos temperatūros procesams.


● Puikus šiluminio valdymo našumas:


✔ Didelis šilumos laidumas: Tankio SIC šilumos laidumas yra apie 120 W/(M · k). Nors porėta struktūra šiek tiek sumažina šilumos laidumą, ji vis tiek yra žymiai geresnė nei dauguma keramikos ir palaiko efektyvų šilumos išsklaidymą.

✔ Mažas šiluminio išsiplėtimo koeficientas (4,0 × 10⁻⁶/° C): beveik nėra deformacijos aukštoje temperatūroje, vengiant prietaiso gedimo, kurį sukelia šiluminis įtempis.


● Puikus cheminis stabilumas


Rūgščių ir šarmų atsparumas korozijai (ypač išskirtinai HF aplinkoje), aukštos temperatūros oksidacijos atsparumas, tinkamas atšiaurioms aplinkoms, tokioms kaip ėsdinimas ir valymas.


● Išskirtinės mechaninės savybės


✔ Didelis kietumas (MOHS kietumas 9.2, antra tik deimantai), stiprus atsparumas dilimui.

✔ Lenkimo stiprumas gali pasiekti 300–400 MPa, o porų konstrukcijos konstrukcijoje atsižvelgiama tiek į lengvą, tiek mechaninį stiprumą.


● Funkcionalizuota porėta struktūra


✔ Aukštas specifinis paviršiaus plotas: padidinkite dujų difuzijos efektyvumą, tinkamą kaip reakcijos dujų paskirstymo plokštė.

✔ Kontroliuojamas poringumas: optimizuokite sklandų skverbimąsi ir filtravimo efektyvumą, pavyzdžiui, vienodą plėvelės formavimąsi CVD procese.


Konkretus vaidmuo puslaidininkių gamyboje


● Aukštos temperatūros proceso palaikymas ir šilumos izoliacija


Kaip vaflių atraminė plokštė, ji naudojama aukštos temperatūros įrangoje (> 1200 ° C), pavyzdžiui, difuzijos krosnys ir atkaitinimo krosnys, kad būtų išvengta metalo užteršimo.


Poruota struktūra turi ir izoliacijos, ir atramos funkcijas, sumažindama šilumos nuostolius.


● Vienodas dujų pasiskirstymas ir reakcijos kontrolė


Cheminio garų nusėdimo (CVD) įrangoje, kaip dujų paskirstymo plokštelėje, poros naudojamos vienodai pernešti reaktyvias dujas (tokias kaip Sih₄, NH₃), siekiant pagerinti plono plėvelės nusėdimo vienodumą.


Sausoje ofortavimo metu porėta struktūra optimizuoja plazmos pasiskirstymą ir pagerina oforto tikslumą.


● Elektrostatiniai Chucko (ESC) pagrindiniai komponentai


Porėta SIC naudojama kaip elektrostatinis Chucko substratas, kuris pasiekia vakuuminę adsorbciją per mikropores, tiksliai nustato vaflį ir yra atsparus bombardavimui plazmoje ir turi ilgą tarnavimo laiką.


● Atsargūs korozijai komponentai


Naudojamas šlapio ėsdinimo ir valymo įrangos ertmės pamušalui, jis atsparus korozijai stipriomis rūgštimis (tokiomis kaip H₂so₄, HNO₃) ir stipriais šarmais (pvz., KOH).


● Šiluminio lauko vienodumo valdymas


Vieno kristalų silicio augimo krosnyse (tokiose kaip Czochralski metodas), kaip šilumos skydas ar atrama, didelis jo šiluminis stabilumas naudojamas vienodiems šiluminiams laukams palaikyti ir sumažinti gardelės defektus.


● Filtravimas ir apsivalymas


Porėtinė struktūra gali perimti kietąsias teršalus ir yra naudojama ypač gryno dujų/skysčių tiekimo sistemose, kad būtų užtikrintas švara proceso švara.


Privalumai, palyginti su tradicinėmis medžiagomis


Charakteristikos
Porėta
Aliuminio oksido keramika
Grafitas
Maksimali darbo temperatūra
1600 ° C.
1500 ° C.
3000 ° C (bet lengva oksiduoti)
Šilumos laidumas
Aukšta (vis dar puiki porėta būsena)
Žemas (~ 30 W/(m · k))
Aukšta (anizotropija)
Šiluminio smūgio atsparumas
Puikus (mažo išplėtimo koeficientas)
Vargšas Vidurkis
Atsparumas plazmoje
Puiku
Vidurkis
Prastas (lengvai lakus)
Švara
Nėra metalo užteršimo
Gali būti pėdsakų metalo priemaišos
Lengva išlaisvinti daleles

Hot Tags: Porėta
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept