Oksidacijos ir difuzijos krosnis

Oksidacijos ir difuzijos krosnys naudojamos įvairiose srityse, tokiose kaip puslaidininkiniai įtaisai, atskiri prietaisai, optoelektroniniai įtaisai, elektroniniai elektroniniai prietaisai, saulės elementai ir didelio masto integruotos grandinės gamyba. Jie naudojami procesams, įskaitant difuziją, oksidaciją, atkaitinimą, legiruoti ir vaflių sukepinimą.

„Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis gamintojas, kurio specializacija yra didelio grynumo grafito, silicio karbido ir kvarco komponentų gamyba oksidacijos ir difuzijos krosnyse. Mes esame įsipareigoję pateikti aukštos kokybės krosnių komponentus puslaidininkių ir fotoelektrų pramonei ir esame paviršiaus dangos technologijos, tokios kaip CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbona ir kt., Priešakyje.

„Vetek“ puslaidininkinių silicio karbido komponentų pranašumai:

● Aukštos temperatūros atsparumas (iki 1600 ℃)

● Puikus šilumos laidumas ir šiluminis stabilumas

● Geras cheminės korozijos atsparumas

● Žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas

● Didelis jėga ir kietumas

● Ilgas tarnavimo gyvenimas

Oksidacijos ir difuzijos krosnyse dėl aukštos temperatūros ir ėsdinančių dujų daugeliui komponentų reikia naudoti aukštos temperatūros ir korozijai atsparias medžiagas, tarp kurių yra silicio karbidas (SIC). Toliau pateikiami įprasti silicio karbido komponentai, randami oksidacijos krosnyse ir difuzijos krosnyse:

● Vaflių valtis

Silicio karbido vaflių valtis yra konteineris, naudojamas silicio vafliams nešiotis, kuris gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir nereaguoti su silicio plokštelėmis.

● krosnies vamzdis

Krosnies vamzdis yra pagrindinis difuzijos krosnies komponentas, naudojamas silicio plokštelėms pritaikyti ir kontroliuoti reakcijos aplinką. Silicio karbido krosnies vamzdžiai pasižymi puikia atsparumo aukštai temperatūrai ir korozijai.

● Pertvaros plokštė

Naudojamas oro srauto ir temperatūros pasiskirstymui krosnyje reguliuoti

● Termoelemento apsaugos vamzdis

Naudojamas temperatūros matavimo termoelementams apsaugoti nuo tiesioginio kontakto su korozinėmis dujomis.

● Konsolever irklas

Silicio karbido konsoles irklai yra atsparūs aukštai temperatūrai ir korozijai, ir yra naudojamos silicio valtims ar kvarco valtims gabenti į difuzinės krosnių vamzdelius.

● Dujų purkštuvas

Naudojamas į krosnį įvesti reakcijos dujas, jos turi būti atsparios aukštai temperatūrai ir korozijai.

● valčių vežėjas

Silicio karbido vaflių valčių nešiklis yra naudojamas silicio plokštelėms pritvirtinti ir palaikyti, kurie turi tokių pranašumų kaip didelis stiprumas, atsparumas korozijai ir geras struktūrinis stabilumas.

● krosnies durys

Silicio karbido dangos ar komponentai taip pat gali būti naudojamos ant krosnies durų vidinės pusės.

● Šildymo elementas

Silicio karbido šildymo elementai yra tinkami aukštai temperatūrai, didelei galiai ir gali greitai pakelti temperatūrą iki daugiau nei 1000 ℃.

● SIC įdėklas

Naudojamas apsaugoti vidinę krosnies vamzdžių sieną, tai gali padėti sumažinti šilumos energijos praradimą ir atlaikyti atšiaurią aplinką, tokią kaip aukšta temperatūra ir aukštas slėgis.

View as

SiC vaflių valtis

SiC vaflinė valtis naudojama plokštelėms nešti, daugiausia oksidacijos ir difuzijos procesui, siekiant užtikrinti, kad temperatūra būtų tolygiai paskirstyta plokštelės paviršiuje. Aukštos temperatūros stabilumas ir didelis SiC medžiagų šilumos laidumas užtikrina efektyvų ir patikimą puslaidininkių apdorojimą. „Vetek“ puslaidininkis yra įsipareigojęs tiekti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

SiC proceso vamzdis

„VeTek Semiconductor“ teikia didelio našumo SiC proceso vamzdžius puslaidininkių gamybai. Mūsų SiC proceso vamzdžiai pasižymi oksidacijos, difuzijos procesais. Dėl aukščiausios kokybės ir meistriškumo šie vamzdžiai užtikrina stabilumą aukštoje temperatūroje ir šilumos laidumą, kad būtų galima efektyviai apdoroti puslaidininkius. Mes siūlome konkurencingas kainas ir siekiame būti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Sic konsoles irklas

„Vetek“ puslaidininkio „SiC Conilever“ irklas naudojamas šilumos apdorojimo krosnyse, skirtos valdyti vaflius. Aukštos temperatūros stabilumas ir didelis SIC medžiagos šilumos laidumas užtikrina didelį efektyvumą ir patikimumą puslaidininkių apdorojimo procese. Mes esame įsipareigoję tiekti aukštos kokybės produktus konkurencingomis kainomis ir tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Silicio karbido vaflių valtis, skirta horizontaliai krosniai

SiC plokštelei keliami aukšti medžiagų grynumo reikalavimai. „Vetek Semiconductor“ šiam produktui tiekia ＞99,96% perkristalizuoto SiC. „VeTek Semiconductor“ yra profesionalus silicio karbido plokštelių, skirtų horizontalioms krosnims, gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turintis ilgametę patirtį mokslinių tyrimų ir plėtros bei plėtros srityse. gamyba, gali gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą kainą. Galite būti tikri, kad iš mūsų nusipirksite silicio karbido vaflių valtį horizontaliai krosniai.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

SiC dengta silicio karbido valtis

SiC padengtos silicio karbido plokštelės yra suprojektuotos su 165 lizdais plokštelėms gabenti. „VeTek Semiconductor“ yra profesionalus SiC dengtų silicio karbido plokštelių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, turintis ilgametę patirtį tyrimų, plėtros ir gamybos srityje, gali gerai kontroliuoti kokybę ir pasiūlyti konkurencingą. kaina. Sveiki atvykę į mūsų gamyklą ir toliau diskutuokite apie bendradarbiavimą.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Silicio karbido konsolever irklas

„Vetek“ puslaidininkio silicio karbido konsolerių irklo irklo ir yra svarbus puslaidininkių gamybos proceso komponentas, ypač tinkamas difuzijos krosnims ar LPCVD krosnims aukštos temperatūros procesuose, tokiuose kaip difuzija ir RTP. Mūsų silicio karbido konsolerių irklas yra kruopščiai suprojektuotas ir pagamintas su puikiu atsparumu aukštai temperatūrai ir mechaniniam stiprumui, ir gali saugiai ir patikimai gabenti vaflius į proceso vamzdelį atšiauriomis proceso sąlygomis įvairiems aukštos temperatūros procesams, tokiems kaip difuzija ir RTP. Mes tikimės, kad tapsime jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje. Nemokamai galėsime mūsų teirautis.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Kaip profesionalus Oksidacijos ir difuzijos krosnis gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Oksidacijos ir difuzijos krosnis, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Oksidacijos ir difuzijos krosnis

„Vetek“ puslaidininkinių silicio karbido komponentų pranašumai:

SiC vaflių valtis

SiC proceso vamzdis

Sic konsoles irklas

Silicio karbido vaflių valtis, skirta horizontaliai krosniai

SiC dengta silicio karbido valtis

Silicio karbido konsolever irklas

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas