Oksidacijos ir difuzijos krosnis

Oksidacijos ir difuzijos krosnys naudojamos įvairiose srityse, tokiose kaip puslaidininkiniai įtaisai, atskiri prietaisai, optoelektroniniai įtaisai, elektroniniai elektroniniai prietaisai, saulės elementai ir didelio masto integruotos grandinės gamyba. Jie naudojami procesams, įskaitant difuziją, oksidaciją, atkaitinimą, legiruoti ir vaflių sukepinimą.

„Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis gamintojas, kurio specializacija yra didelio grynumo grafito, silicio karbido ir kvarco komponentų gamyba oksidacijos ir difuzijos krosnyse. Mes esame įsipareigoję pateikti aukštos kokybės krosnių komponentus puslaidininkių ir fotoelektrų pramonei ir esame paviršiaus dangos technologijos, tokios kaip CVD-SIC, CVD-TAC, pirokarbona ir kt., Priešakyje.

„Vetek“ puslaidininkinių silicio karbido komponentų pranašumai:

● Aukštos temperatūros atsparumas (iki 1600 ℃)

● Puikus šilumos laidumas ir šiluminis stabilumas

● Geras cheminės korozijos atsparumas

● Žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas

● Didelis jėga ir kietumas

● Ilgas tarnavimo gyvenimas

Oksidacijos ir difuzijos krosnyse dėl aukštos temperatūros ir ėsdinančių dujų daugeliui komponentų reikia naudoti aukštos temperatūros ir korozijai atsparias medžiagas, tarp kurių yra silicio karbidas (SIC). Toliau pateikiami įprasti silicio karbido komponentai, randami oksidacijos krosnyse ir difuzijos krosnyse:

● Vaflių valtis

Silicio karbido vaflių valtis yra konteineris, naudojamas silicio vafliams nešiotis, kuris gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir nereaguoti su silicio plokštelėmis.

● krosnies vamzdis

Krosnies vamzdis yra pagrindinis difuzijos krosnies komponentas, naudojamas silicio plokštelėms pritaikyti ir kontroliuoti reakcijos aplinką. Silicio karbido krosnies vamzdžiai pasižymi puikia atsparumo aukštai temperatūrai ir korozijai.

● Pertvaros plokštė

Naudojamas oro srauto ir temperatūros pasiskirstymui krosnyje reguliuoti

● Termoelemento apsaugos vamzdis

Naudojamas temperatūros matavimo termoelementams apsaugoti nuo tiesioginio kontakto su korozinėmis dujomis.

● Konsolever irklas

Silicio karbido konsoles irklai yra atsparūs aukštai temperatūrai ir korozijai, ir yra naudojamos silicio valtims ar kvarco valtims gabenti į difuzinės krosnių vamzdelius.

● Dujų purkštuvas

Naudojamas į krosnį įvesti reakcijos dujas, jos turi būti atsparios aukštai temperatūrai ir korozijai.

● valčių vežėjas

Silicio karbido vaflių valčių nešiklis yra naudojamas silicio plokštelėms pritvirtinti ir palaikyti, kurie turi tokių pranašumų kaip didelis stiprumas, atsparumas korozijai ir geras struktūrinis stabilumas.

● krosnies durys

Silicio karbido dangos ar komponentai taip pat gali būti naudojamos ant krosnies durų vidinės pusės.

● Šildymo elementas

Silicio karbido šildymo elementai yra tinkami aukštai temperatūrai, didelei galiai ir gali greitai pakelti temperatūrą iki daugiau nei 1000 ℃.

● SIC įdėklas

Naudojamas apsaugoti vidinę krosnies vamzdžių sieną, tai gali padėti sumažinti šilumos energijos praradimą ir atlaikyti atšiaurią aplinką, tokią kaip aukšta temperatūra ir aukštas slėgis.

View as

Sic difuzinės krosnies vamzdis

Vetek puslaidininkių difuzijos krosnies vamzdis, kaip pagrindinis difuzijos krosnies įrangos gamintojas ir tiekėjas, turi žymiai aukštą lenkimo stiprumą, puikų atsparumą oksidacijai, atsparumui korozijai, dideli atsparumo dilimui ir puikios aukštos temperatūros mechaninės savybės. Todėl tai yra nepakeičiama įrangos medžiaga difuzijos krosnies pritaikyme. „Vetek Semiconductor“ yra įsipareigojęs gaminti ir tiekti aukštos kokybės sic difuzijos krosnies vamzdelį ir palankiai vertina tolesnius jūsų užklausas.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas

„VeTek Semiconductor“ siūlo pritaikytą didelio grynumo SiC plokštelių laikiklį. Pagaminta iš didelio grynumo silicio karbido, jame yra angų, skirtų plokštelei laikyti vietoje, neleidžiant jai slysti apdorojimo metu. Jei reikia, taip pat galima įsigyti CVD SiC dangą. Kaip profesionalus ir stiprus puslaidininkių gamintojas ir tiekėjas, „VeTek Semiconductor“ didelio grynumo SiC valčių laikiklis yra konkurencingas ir pasižymi aukšta kokybe. „VeTek Semiconductor“ tikisi tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Aukšto grynumo sic konsolės irklų

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti aukšto grynumo „SiC Conilever“ irklavimo gaminio gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Aukšto grynumo sic konsoles irklai dažniausiai naudojami puslaidininkių difuzijos krosnyse kaip vaflių perdavimo ar pakrovimo platformos.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Vertikalus kolonėlės vaflių valtis ir pjedestalas

VETEK Semiconductor vertikalios kolonėlės vaflinės valties ir pjedestalo yra pagaminti iš aukšto grynumo kvarco arba silicio anglies keramikos (SIC) medžiagų, turinčių puikų atsparumą aukštai temperatūrai, cheminį stabilumą ir mechaninį stiprumą, ir yra nepakeičiamas pagrindinis komponentas puslaidininkių gamybos procese. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Gretutinė vaflių valtis

„Vetek“ puslaidininkių gretimų vaflių valtis yra pažangi puslaidininkių apdorojimo įranga. Produkto struktūra yra kruopščiai suprojektuota siekiant užtikrinti efektyvų tikslių vaflių apdorojimą ir gamybą. „Veteksemi“ palaiko pritaikytus produktų sprendimus ir tikisi jūsų konsultacijų.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Horizontalus SiC plokštelių laikiklis

„Vetek Semiconductor“ yra profesionalus gamintojas ir TAC padengto kreipiamojo žiedo, horizontaliojo sic vaflių nešiklio ir SIC dengtų jautrių atvaizdų tiekėjas Kinijoje. Mes esame įsipareigoję teikti nepriekaištingą techninę paramą ir aukščiausius produktų sprendimus puslaidininkių pramonei. Sveiki atvykę susisiekti su mumis.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Kaip profesionalus Oksidacijos ir difuzijos krosnis gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Oksidacijos ir difuzijos krosnis, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Oksidacijos ir difuzijos krosnis

„Vetek“ puslaidininkinių silicio karbido komponentų pranašumai:

Sic difuzinės krosnies vamzdis

Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas

Aukšto grynumo sic konsolės irklų

Vertikalus kolonėlės vaflių valtis ir pjedestalas

Gretutinė vaflių valtis

Horizontalus SiC plokštelių laikiklis

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas