Produktai
Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas
  • Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjasAukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas
  • Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjasAukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas
  • Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjasAukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas
  • Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjasAukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas

Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas

„VeTek Semiconductor“ siūlo pritaikytą didelio grynumo SiC plokštelių laikiklį. Pagaminta iš didelio grynumo silicio karbido, jame yra angų, skirtų plokštelei laikyti vietoje, neleidžiant jai slysti apdorojimo metu. Jei reikia, taip pat galima įsigyti CVD SiC dangą. Kaip profesionalus ir stiprus puslaidininkių gamintojas ir tiekėjas, „VeTek Semiconductor“ didelio grynumo SiC valčių laikiklis yra konkurencingas ir pasižymi aukšta kokybe. „VeTek Semiconductor“ tikisi tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

„Veteksemi“ aukšto grynumo sic vaflių valčių nešiklis yra svarbus guolio komponentas, naudojamas atkaitinant krosnys, difuzijos krosnys ir kita įranga puslaidininkių gamybos procese. Didelio grynumo sic vaflių valčių nešiklis paprastai yra pagamintas iš aukšto grynumo silicio karbido medžiagos ir daugiausia apima šias dalis:


Valties atraminis korpusas: struktūra, panaši į laikiklį, specialiai naudojamas nešiotissilicio plokštelėsar kitos puslaidininkinės medžiagos.


Pagalbinė struktūra: Jo atraminės konstrukcijos konstrukcija leidžia atlaikyti dideles apkrovas esant aukštai temperatūrai ir nedeformuotis bei nepažeisti apdorojimo aukštoje temperatūroje.


silicon carbide material

Silicio karbido medžiaga


Fizinės savybėsPerkristalizuotas silicio karbidas


Turtas
Tipinė vertė
Darbinė temperatūra (° C)
1600°C (su deguonimi), 1700°C (redukuojanti aplinka)
SiC turinys
> 99,96 %
Nemokamas Si turinys
< 0,1 %
Birių tankis
2,60-2,70 g/cm3
Akivaizdus poringumas
<16%
Suspaudimo stiprumas
> 600 MPa
Šalto lenkimo stiprumas
80–90 MPa (20 ° C)
Karštas lenkimo stiprumas
90–100 MPa (1400 ° C)
Šiluminis plėtimasis @1500°C
4,70*10-6/° C.
Šilumos laidumas @1200 ° C.
23 W/M • k
Elastinis modulis
240 GPa
Šiluminio smūgio atsparumas
Be galo geras

Jei gamybos proceso reikalavimai yra aukštesni,CVD SiC dangagali būti atliekamas naudojant didelio grynumo SiC plokštelių laikiklį, kad grynumas siektų daugiau nei 99,99995%, dar labiau pagerintų jo atsparumą aukštai temperatūrai.


Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:


Turtas
Tipinė vertė
Kristalų struktūra
FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
Tankis
3,21 g/cm³
Kietumas
2500 „Vickers“ kietumas (500 g apkrova)
Grūdų dydis
2 ~ 10 mm
Cheminis grynumas
99.9995%
Šilumos talpa
640 j · kg-1· K-1
Sublimacijos temperatūra
2700 ℃
Lenkimo jėga
415 MPA RT 4 taškų
Youngo modulis
430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃
Šilumos laidumas
300W · m-1· K-1
Šiluminė plėtra (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Apdorojant aukštoje temperatūroje, didelio grynumo SiC plokštelių laikiklis leidžia tolygiai kaitinti silicio plokštelę, kad būtų išvengta vietinio perkaitimo. Be to, silicio karbido medžiagos atsparumas aukštai temperatūrai leidžia išlaikyti konstrukcinį stabilumą 1200°C ar net aukštesnėje temperatūroje.working principle of High purity SiC wafer boat carrier


Difuzijos arba atkaitinimo proceso metu konsolinis irklas ir didelio grynumo SiC plokštelių laikiklis veikia kartu. Thekonsolinis irklasLėtai stumia aukšto grynumo sic vaflinių valčių nešiklį, nešantį silicio vaflį į krosnies kamerą ir sustabdo ją nustatytoje perdirbimo padėtyje. 


Didelio grynumo sic vaflinių valčių nešiklis palaiko kontaktą su silicio plokštele ir yra pritvirtintas tam tikroje terminio apdorojimo proceso metu, o konsolės irklas padeda išlaikyti visą struktūrą tinkamoje padėtyje, užtikrinant temperatūros vienodumą.


Aukšto grynumo sic vaflių valčių nešiklis ir konsolės irklas kartu veikia, kad būtų užtikrintas aukštos temperatūros proceso tikslumas ir stabilumas.


„Vetek Semiconductor“ suteikia jums pritaikytą aukšto grynumo sic vaflių valčių nešiklį pagal jūsų poreikius. Laukiu jūsų užklausos.


„VeTek“ puslaidininkisDidelio grynumo SiC vaflinių valčių laikymo parduotuvės:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Aukšto grynumo sic vaflių valčių vežėjas
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept