Silicio karbido sėklų kristalų klijavimo vakuuminė karšto spaudimo krosnis

SiC sėklų surišimo technologija yra vienas iš pagrindinių procesų, turinčių įtakoskristalų augimas.VETEK sukūrė specializuotąvakuuminė karšto spaudimo krosnissėklų surišimui, remiantis šio proceso ypatybėmis. Krosnis gali veiksmingai sumažinti įvairius defektus, susidariusius sėklų surišimo proceso metu, taip pagerindama išeigą ir galutinę kristalinio luito kokybę.

Pristatykite

1. Krosnis buvo naudojama sėkloms klijuoti anksčiauSiC kristalų augimas

2. Surištos sėklos gali likti tvirtai pritvirtintos esant 2300 ℃ temperatūrai, išlaikant 100 % sukibimą be oro burbuliukų, labai plokščią, švarų sėklos paviršių ir be adsorbuotų priemaišų

3. Šildomos plokštės formos yra atsparios spiralinio disko formos, vienodos šildymo zonos šildymui, ją patogu naudoti, lengva valdyti

4. Apkrovos plokštės apačioje su jėgos jutikliais, tiksliai rodoma ruošinio prispaudžiamoji jėga 

Funkcijos įvadas

1. Vandeniu aušinama metalinė dvigubos sienelės kamera efektyviai sumažina krosnies korpuso išorinio paviršiaus temperatūrą, sumažina aukštos temperatūros žalą ir sumažina poveikį aplinkai.

2.Jis gali automatiškai padidinti prispaudimo jėgą ir jėgos išlaikymą, lėtą apkrovos jėgą, o poslinkis gali būti automatiškai valdomas.

3. Galimos įvairios vakuumo konfigūracijos, o pagal procesą galima pasirinkti skirtingus vakuumo lygius.

4. Vienodo slėgio ir aukštos temperatūros valdymo tikslumas.

5. Prispaudžiamosios jėgos konstrukcija turi tikslią mechaninę traukos jėgą, užtikrinančią tikslią ir stabilią prispaudimo jėgą, saugų naudojimą ir ekologiškumą.

6. Apatinis antspaudas yra prijungtas prie stūmiklio "universaliu" būdu. Užtikrinama, kad ruošinį nuslopinus, apatinio antspaudo paviršius yra prisitaikantis lygiagrečiai šildomos plokštės formos paviršiui, užtikrinama, kad ruošinys turėtų vienodą prispaudžiamąją jėgą.

7. Žemyninis antspaudas turi buferio apkrovos prispaudimo jėgą, užtikrinančią sklandžią ir minkštą prispaudžiamąją jėgą be smūgio, kad būtų išvengta ruošinio įtrūkimų.

9. Tiek šildoma plokštės forma, tiek prispaudimo jėgos antspaudas yra su termoizoliaciniu skydu, kad sumažintų neveiksmingą temperatūros praradimą.

Parametras

Funkcija

1.Lėtas vakuuminis siurbimas, reguliuojamas vakuuminio siurbimo greitis

2. Didelė kamera, didelė atnaujinimo erdvė

3. Antspaudas veikia stabiliai ir veikia automatiškai

4. Prispaudžiamosios jėgos lėtas reljefas ir lėtas padidėjimas, prispaudžiamosios jėgos rampa pagal recepto automatinį valdymą

5.Tikslus užprogramuotas temperatūros ir prispaudimo jėgos valdymas

6. Vakuumo, prispaudimo jėgos ir temperatūros parametrai gali būti laisvai nustatyti, kad atitiktų skirtingus sujungimo procesus

7. Sujungimas yra sutankintas ir be burbuliukų

8. Įtrūkimų dažnis yra labai mažas, beveik nėra įtrūkimų dėl įrangos problemų

9. Suderinamas su 6-12 colių sėklų klijavimu

10.Maks. prispaudimo jėga: 1,6 T

11. Didžiausias vakuumas: 5 Pa (šaltas)

12. Šildomos plokštės formos temperatūros vienodumas:：＜±3℃，σ<4（200℃）

13. Slėgio svyravimas: <0,5 %